モリブデンスパッタリングターゲット99%, Dia.6インチ 説明
純度99.0%のモリブデンスパッタリングターゲットは、高性能薄膜蒸着アプリケーションに卓越した材料の完全性を提供します。この直径6インチのターゲットは、卓越した導電性、高融点、優れた耐食性で有名な最高品質のモリブデンで構成されています。 その機械的強度と熱安定性は、厳しいスパッタリング条件下でも一貫した信頼性の高い結果を保証します。
厳しい品質管理基準の下で丹念に作られたこのターゲットは、安定したスパッタリング速度と最適な膜厚均一性を促進する均一な結晶粒構造を示しています。半導体製造、太陽電池製造、各種コーティングプロセスでの使用に最適な当社のモリブデンスパッタリングターゲットは、業界の厳しい要件を満たしながら、信頼性の高い性能を発揮します。正確で効率的な薄膜成膜のために、その優れた特性と安定した品質を信頼してください。
モリブデンスパッタリングターゲット 99%、Dia.6インチ
純度99%、直径6インチのモリブデンスパッタリングターゲットは、優れた機械的強度、高融点、優れた熱伝導性を提供します。薄膜形成に精密さと信頼性が要求される様々な産業で広く使用されています。耐食性と安定した電気特性により、半導体、エレクトロニクス、光学分野の先端コーティングに不可欠な成分となっている。以下に、重要な用途が見出される主な分野を紹介する。
1.薄膜蒸着用途
- PVDコーティング: 優れた密着性と耐久性を持つ、均一で高密度のコーティングを形成するために利用される。
- マグネトロンスパッタリング:モリブデンの高温耐性により、安定したプラズマ生成と安定した膜厚を確保。
- イオンビームスパッタリング:精密な膜厚制御が可能で、ターゲットの稼働率が高く、製造コストを削減できる。
2.半導体用途
- ゲート電極形成:安定した導電性により、信頼性の高い電気性能と長寿命を実現。
- バリア層: デバイス構造における効果的な拡散制御を提供し、コンポーネントの信頼性と性能を向上させます。
- チップパッケージングエレメントハイテクデバイスの熱応力に耐え、堅牢なパッケージングソリューションに貢献します。
3.光学コーティング用途
- レーザーミラー: 熱歪みを最小限に抑え、レーザーによる損傷に耐えることで、信頼性の高いミラー性能を保証します。
- ビームスプリッター: モリブデンの安定したスパッタリング挙動を利用することで、正確な反射/透過比を実現します。
- フィルターコーティング: 特殊なフィルターにおいて、優れた光学的透明性と均一な層厚を実現します。
モリブデンスパッタリングターゲット 99%, Dia.6インチパッケージ
当社のモリブデンスパッタリングターゲット(99%、直径6インチ)は、まず湿気を防ぐために乾燥剤入りのプラスチックフィルムに包まれ、次に衝撃保護のためにポリエチレンフォームでパッドされます。次に、酸化と汚染を防ぐためにアルミホイルパウチに真空封入されます。最後に、頑丈な段ボール箱に入れて出荷されます。ご要望に応じて、カスタム・ラベリング、追加保護層、代替容器素材も承ります。
包装真空シール、木箱、またはカスタマイズ。
モリブデンスパッタリングターゲット99%, Dia.6インチ FAQ
Q1: モリブデンスパッタリングターゲット99%, Dia.6インチの主な材料特性は何ですか?
A1: モリブデンスパッタリングターゲット99% Dia.6インチは、一般的に高融点(~2620℃)、優れた熱伝導性、高温での優れた機械的強度が特徴です。純度99%で不純物が少なく、安定したスパッタリング性能と均一な成膜を実現します。直径6インチは、効率的な成膜プロセスのための十分な表面積を提供し、ターゲット寿命を延ばし、ターゲット交換の頻度を減らします。
Q2: このMoスパッタリングターゲットはどのように加工できますか?
A2: モリブデンターゲットは、粉末冶金、熱間等方圧加圧(HIP)、または真空焼結によって製造することができます。最初の高密度化プロセスの後、ターゲットは頻繁に所望の厚さに機械加工され、滑らかな表面を生成するために研磨されます。 汚染や微細構造の損傷を避けるためには、慎重な取り扱いが不可欠であり、スパッタリングアプリケーション中に一貫した膜特性と信頼性の高い性能を保証します。
Q3: モリブデンスパッタリングターゲット99%, Dia.6インチ
A3: モリブデンスパッタリングターゲットは通常、厳格なASTM B386または同等の材料仕様に準拠しています。製造工程は多くの場合ISO9001品質管理システムに準拠しており、原材料、製造パラメータ、最終検査におけるトレーサビリティを確保しています。純度の検証は、ICP-MSまたはGD-MS分析を用いて行われる。さらに、業界をリードする品質と製品の一貫性を維持するために、化学組成、寸法測定、機械的特性に関する包括的な文書が提供される。
関連情報
1.原材料 - Mo材料
Moは、さまざまなスパッタリング用途で使用される貴重な材料です。これは、高度な処理操作によって抽出および精製されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、信頼できるサプライヤーから高品位の材料を調達し、当社のスパッタリングターゲット製品の品質と一貫性を確保しています。
2.スパッタリングターゲットの製造
Moスパッタリングターゲットの製造には、粉末冶金を含むいくつかの方法が使用されます。各製造方法によって、密度、結晶粒構造、表面特性などのターゲットの特性が異なります。製造方法は、目的とする用途の要件と性能仕様に基づいて選択される。