モリブデンロータリーターゲット 99.95%、直径5インチ5インチ 説明
当社の直径5インチのモリブデンロータリーターゲット(99.95%)は、優れた職人技と比類のない純度を例証しています。厳格な品質管理の下で生産されたこのターゲットは、卓越した熱伝導性、高温強度、顕著な耐食性などの重要な特性を提供します。卓越した物理的堅牢性と最小限の不純物レベルにより、薄膜蒸着、半導体製造、光学コーティングプロセスなど、さまざまな先端技術アプリケーションに最適です。安定した膜質を可能にするよう設計されており、精度と耐久性が最も重要となる厳しい環境において、信頼性の高い性能を発揮します。
細部に至るまで細心の注意を払って製造された当社のモリブデンロータリーターゲットは、組成と均一性の徹底的な検査を受けることで、業界の要件を満たし、それを上回っています。その結果、優れたスパッタリング歩留まりを保証し、様々な分野における効率的で高精度な生産に貢献する最先端の製品が誕生しました。当社の品質を信頼し、次世代の研究・製造ニーズに対応する揺るぎないソリューションの耐久性にご期待ください。
モリブデンロータリーターゲット 99.95%、Dia.5インチ
直径5インチの純度99.95%のモリブデンロータリーターゲットは、卓越した強度、耐食性、高融点で知られる汎用性の高いスパッタリング材料です。この特性の組み合わせにより、過酷な条件下で信頼性の高い性能を必要とする様々な薄膜、半導体、光学用途に最適です。以下は、そのユニークな利点を強調した主な用途である。
1.薄膜蒸着用途
- PVDコーティング:高純度のモリブデンは、厳しい真空条件下でも均一な膜厚と安定した層密着性を実現します。
- マグネトロンスパッタリングモリブデンの硬度と熱安定性は、効率的なイオンボンバードメントを可能にし、膜密度の向上と優れたコーティング品質をもたらします。
- イオンビームスパッタリング優れたスパッタリング速度と最小限のコンタミネーションにより、複雑な多層構造における精密な成膜制御を実現します。
2.半導体用途
- 集積回路:モリブデン層は信頼性の高い拡散バリアとして機能し、高温プロセスにおけるデバイス相互接続の完全性を維持します。
- ゲート電極:安定した電気特性により、MoはMOSFETゲートの理想的な材料となり、安定したトランジスタ性能を保証します。
- 薄膜トランジスタ:モリブデンの高い導電性と低い接触抵抗は、スイッチ速度の向上と消費電力の削減に貢献します。
3.光学コーティング用途
- 反射防止コーティング:Moベースの膜は、光の反射を最小限に抑え、光学的透明性を高め、光学デバイスの効率を向上させます。
- ビームスプリッター:Moコーティングの一貫した層厚と強固な接合は、デュアルパス光学部品の耐久性と精度を保証します。
- 高反射率ミラーモリブデンの反射特性と耐食性は、長寿命で高性能なミラー表面の製造に役立ちます。
モリブデンロータリーターゲット 99.95%、Dia.5インチパッケージ
各モリブデンロータリーターゲット(99.95%、直径5インチ)は、機械的損傷を防ぐために発泡スチロールまたは衝撃吸収性の包装で保護されています。その後、ターゲットは真空パウチに密封され、酸化と汚染を最小限に抑えます。さらに保護層を設けることで、環境要因による腐食を遅らせます。特定のカートンのサイズやラベル付けなど、パッケージングのカスタマイズも承ります。すべての包装は、輸送および保管中の最大限の保護を保証し、ターゲットの純度と性能の完全性を維持します。
包装真空シール、木箱、またはカスタマイズ。
モリブデン回転ターゲット99.95%, Dia.5インチ FAQ
Q1: モリブデン回転ターゲット99.95%, Dia.5インチ
A1: 化学的純度99.95%以上のこのモリブデンロータリーターゲットは、優れた熱伝導性と電気伝導性を持ち、均一なスパッタリング性能を保証します。密度は約10.2g/cm³で、高温下でも優れた機械的強度と安定性を発揮します。さらに、モリブデンの高融点(2,623℃)は優れた耐熱性を実現し、ターゲットの歪みのリスクを低減します。低アウトガス率は、真空プロセスでの性能をさらに高めます。
Q2:このMoスパッタリングターゲットの推奨される加工・製造方法は何ですか?
A2: 製造は通常粉末冶金から始まり、高純度モリブデン粉末をプレス、焼結、熱間静水圧プレスして密度を最大にします。回転ターゲットの形状を実現するために、高度なCNC機械加工と精密研削が採用され、厳しい寸法公差が保証されます。場合によっては、鍛造や圧延によって結晶粒組織を微細化することもある。適切な応力除去アニールは、機械的強度を向上させ、安定したスパッタリング結果を維持するために極めて重要です。
Q3: モリブデンロータリーターゲット99.95%, Dia.5インチ
A3: モリブデンロータリーターゲットは多くの場合、化学組成と機械的特性についてASTM B386またはASTM B387に準拠しています。製造業者は一般的にISO9001認証を取得しており、製造と検査を通して厳格な品質管理を実施しています。主な検査項目には、結晶粒度評価、超音波検査、構造的完全性を保証する寸法検証などがあります。詳細な材料トレーサビリティ記録により、一貫性と顧客仕様への適合性がさらに検証されます。
関連情報
1.原材料 - Mo材料
Moは、さまざまなスパッタリング用途で使用される貴重な材料です。これは、高度な処理操作によって抽出および精製されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、信頼できるサプライヤーから高品位の材料を調達し、当社のスパッタリングターゲット製品の品質と一貫性を確保しています。
2.スパッタリングターゲットの製造
Moスパッタリングターゲットの製造には、粉末冶金を含むいくつかの方法が使用されます。各製造方法によって、密度、結晶粒構造、表面特性などのターゲットの特性が異なります。製造方法は、目的とする用途の要件と性能仕様に基づいて選択される。
仕様
仕様
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価格
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外形寸法
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直径5インチ
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密度
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10.28 g/cm³
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融点
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2623℃
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スパッタ
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DC
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結合タイプ
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インジウム、エラストマー
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*上記製品情報は理論値であり、参考値です。実際の仕様とは異なる場合があります。