モリブデンニオブ合金平面ターゲットMoNb5の説明
モリブデンニオブ合金平面ターゲットMoNb5は、モリブデンの堅牢な構造特性とニオブの強化された耐食性と耐熱性を兼ね備えています。この特殊合金は、卓越した熱的および機械的安定性を提供し、半導体およびマイクロエレクトロニクス産業における要求の厳しいスパッタリング、コーティング、および薄膜アプリケーションに理想的です。均一な組成により、高温・高ストレス条件下でも安定した成膜速度と信頼性の高い性能を発揮します。
すべてのMoNb5プレーナーターゲットは厳格な品質管理を受け、厳しい純度基準を満たしています。製造工程は厳格なガイドラインに従い、すべてのターゲット寸法にわたって卓越した密度と均質性を実現します。専門的な作業に必要なサイズと厚さを選択し、高度なコーティングと精密な製造工程で優れた結果を達成してください。
モリブデンニオブ合金プレーナターゲットMoNb5用途
MoNb5プレーナースパッタリングターゲットは、ニオブの堅牢な耐食性とモリブデンの高強度および熱安定性を兼ね備えています。そのユニークな微細構造と組成により、特に要求の厳しい環境下での高度な薄膜成膜プロセスに最適です。これらのターゲットは、信頼性の高い性能、安定した膜質、様々な産業用途におけるデバイス効率向上の可能性を提供します。
1.薄膜蒸着アプリケーション
- PVDコーティング:MoNb5の優れた機械的強度と耐食性により、高い膜密度と強固な密着性を実現。
- マグネトロンスパッタリング安定したスパッタリングレートと均一な膜厚を確保し、コーティング全体の品質を向上させます。
2.半導体用途
- 集積回路デバイスの小型化に不可欠な信頼性の高いバリア層と優れた熱安定性を提供。
- 電子部品均一な導電性と制御された膜成長により、デバイス性能を向上させます。
3.光学コーティング用途
- 反射防止コーティングMoNb5の調整可能な屈折率により、反射損失を低減し、光学的透明性を向上させる。
- ミラーコーティング高い反射率と耐久性のある表面を提供し、長寿命が要求される環境に最適。
モリブデンニオブ合金平面ターゲットMoNb5パッケージング
モリブデンニオブ合金平面ターゲットMoNb5は、衝撃や静電気放電を防ぐため、発泡パッドと帯電防止ライナーでしっかりと梱包されています。各パーツは防湿袋で真空密封され、酸化を防ぐための乾燥剤を備えています。保護強化のため、ターゲットは頑丈な輸送用クレートに収納されます。また、特別な取り扱いや保管の要件に対応するため、カスタマイズされた梱包ソリューションも提供しています。
梱包真空シール、木箱、またはカスタマイズ。
モリブデン・ニオブ合金平面ターゲットMoNb5に関するFAQ
Q1: モリブデンニオブ合金平面ターゲットMoNb5の主な材料特性は何ですか?
A1: この合金は通常約5%のニオブを含んでおり、機械的強度と高温変形に対する耐性を高めています。MoNb5は優れた熱安定性、低い蒸気圧、良好な電気伝導性を示します。密度は純モリブデンに近く、ニオブは延性を高める。この材料の耐食性と耐酸化性は、要求の厳しい真空やプラズマ環境に適しています。
Q2: MoNb5スパッタリングターゲットはどのように加工できますか?
A2: MoNb5スパッタリングターゲットは、粉末冶金と、それに続く熱間静水圧プレスや真空焼結などの圧密法を用いて製造されるのが一般的です。粉末の配合は、組成の一貫性を保つために正確に測定されます。ビレットを形成した後、所望の寸法と表面仕上げを達成するために鍛造と機械加工が施される。不純物を制御し、最適な粒度分布を確保するために特別な注意が払われます。
Q3: モリブデン・ニオブ合金平面ターゲットMoNb5には、どのような品質規格や認証が適用されますか?
A3: 製造業者は通常、品質管理システムのISO 9001に準拠しており、モリブデン合金に関するASTM B386または同様の規格を参照している場合があります。厳密な化学成分規格は一貫した合金濃度を保証し、非破壊検査規格は均一な密度と最小限の欠陥を保証するのに役立ちます。サプライヤー認証には、しばしば材料トレーサビリティ文書と第三者検査報告書が含まれ、製品が純度、公差、信頼性に関する業界要件を満たしていることを保証します。
関連情報
1.原材料 - MoNb5材料
MoNb5は、さまざまなスパッタリング用途で使用される貴重な材料です。MoNb5は、高度な処理工程を経て抽出・精製されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、信頼できるサプライヤーから高品位の材料を調達し、当社のスパッタリングターゲット製品の品質と一貫性を確保しています。
2.スパッタリングターゲットの製造
MoNb5スパッタリングターゲットの製造には、粉末冶金を含むいくつかの方法が使用されます。各製造方法によって、密度、結晶粒構造、表面特性などのターゲットの特性が異なる。製造方法は、意図する用途要件と性能仕様に基づいて選択される。
仕様
仕様
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価格
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寸法
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カスタマイズ
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密度
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~10.2 g/cm3
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融点
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~3000℃
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結合のタイプ
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インジウム、エラストマー
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*上記製品情報は理論値であり、 参考値です。実際の仕様とは異なる場合があります。