MF5928 (生産中止品) 1200℃ 3ゾーン石英管状炉 OTF-1200X-III-80-F3LV

カタログ番号	MF5928
商品番号	OTF-1200X-III-80-F3LV
使用温度	≤1100℃連続
水晶管サイズ	80 OD x 72 ID x 1400 L (mm)

生産終了

1200℃三ゾーン石英管状炉 OTF-1200X-III-80-F3LVは、機械式真空ポンプ、デジタル真空計、三チャンネルガスフローシステムを装備した分割可能な三ゾーン管状炉です。Stanford Advanced Materials （SAM）は、高品質のマルチゾーン炉の製造と供給に豊富な経験を持っています。

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炉構造	空冷式二層鋼製ケーシング高純度アルミナファイバー断熱分割可能なカバー設計
出力	5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz
使用温度	最高使用温度。温度：1200℃（1時間）、1100℃（連続）加熱速度：≤20℃/分温度精度：±1.0
加熱ゾーンの長さ	3ゾーン：（880mm、合計35インチ）ゾーン1：220mm（8.6インチ）ゾーン2：440mm（17.3インチ）ゾーン3220mm（8.6インチ）
一定温度ゾーン	3つのゾーンが同じ温度に設定されている場合、定温ゾーンは長さ25インチ（625mm）で、温度差は±1℃です。 1つのゾーン（センターゾーン）のみを使用する場合、定温ゾーンの長さは4.3インチ（110mm）で、温度差は±1℃です。
発熱体	Mo添加Fe-Cr-Al合金
温度温度コントローラー	3つのゾーンを個別に制御する3つの精密温度コントローラー加熱速度、冷却速度、滞留時間を正確に制御する30個のプログラム可能なセグメントによるPID自動制御過熱および熱電対破損保護機能内蔵過熱保護とアラームにより、係員なしでも操作可能温度精度±1 RS485通信ポート
真空センサーとディスプレイ	腐食性ガスが存在する真空測定用に特別に設計されたセラミックコーティングセンサヘッド付き耐腐食性キャパシタンスダイアフラムゲージ真空計は管状炉の真空フランジに取り付けられ、広い測定範囲 (10^-5 ~ 1000 torr) を提供します。
石英管とシールフランジ	80 mm O.D. x 72 mm ID. x 1400 mm 石英管を含む。バルブと圧力計付き真空フランジが付属。
試料ホルダー付きスライドフランジ	試料移動用スライド（手動式）は、オプションとして$1900で追加可能。
真空シールフランジ	ステンレス製フランジ2個に真空計とバルブが付属しています。機械式ポンプによる最低真空圧は5.5m-torr.(5.5x10^-3torr)です。機械式＋分子ポンプを使用すれば10^-5torrまで到達可能。リーク速度は5m-torr/分以下で、24時間後の安定した真空圧は2torr以下です。
酸素モニタリング	酸素センサーは、CVDシステムで使用されるガスの酸素レベルをモニターし、酸化を防止または低減するために使用できます。
真空ポンプ	最大真空圧10^-2torrの120L/mロータリーベーン真空ポンプが付属しています。管状炉に接続するためのステンレス製ホースチューブが付属しています。
ガス流量計と圧力計	モバイルケース内に3台のガス流量計（精度4％FS）を設置し、ガス流量のモニタリングが可能です（合計3種類のガス）。小型直読式流量計、10～100cc/min。小型直読式流量計、16～160cc/min。小型直読式流量計、25～250 cc/分。移動台車内に4台の圧力計を設置し、3種類の流動ガス圧力とミキシングタンクの圧力を監視することができます。
輸送重量	850ポンド
バルブ	移動式カートのサイドパネルに4つのステンレス製バルブが設置されており、3種類の入口ガスの混合を個別に制御します。
寸法	炉： 1100 X 450 X 670 mm 底部移動式ケース600 x 600 x 597 mm
保証	1年間のメーカー限定保証
注意事項	管状炉内の正確な温度を得るには、ご自身で温度校正を行う必要があります。アルミナ管を装備した管状炉は真空および低圧 < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa での使用を想定しています。管への熱衝撃を軽減するため、ガス流量は < 200 SCCM (または 200 ml/分) に制限する必要があります。注意安全な操作のため、ガスシリンダーに2段階圧力レギュレーターを取り付け、圧力を3 PSI以下に制限する必要があります。全石英管状炉の真空限界の定義：* 真空圧力は1000°Cまでしか安全に使用できません。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証 (別途料金)

炉の構造	空冷式二層鋼製ケーシング高純度アルミナファイバー断熱分割可能なカバーデザイン
電源	5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz
使用温度	最高使用温度。温度：1200℃（1時間）、1100℃（連続）加熱速度：≤20℃/分温度精度：±1.0
加熱ゾーンの長さ	3ゾーン：（880mm、合計35インチ）ゾーン1：220mm（8.6インチ）ゾーン2：440mm（17.3インチ）ゾーン3220mm（8.6インチ）
一定温度ゾーン	3つのゾーンが同じ温度に設定されている場合、定温ゾーンは長さ25インチ（625mm）で、温度差は±1℃です。 1つのゾーン（センターゾーン）のみを使用する場合、定温ゾーンの長さは4.3インチ（110mm）で、温度差は±1℃です。
発熱体	Mo添加Fe-Cr-Al合金
温度温度コントローラー	3つのゾーンを個別に制御する3つの精密温度コントローラー加熱速度、冷却速度、滞留時間を正確に制御する30個のプログラム可能なセグメントによるPID自動制御過熱および熱電対破損保護機能内蔵過熱保護とアラームにより、係員なしでも操作可能温度精度±1 RS485通信ポート
真空センサーとディスプレイ	腐食性ガスが存在する真空測定用に特別に設計されたセラミックコーティングセンサヘッド付き耐腐食性キャパシタンスダイアフラムゲージ真空計は管状炉の真空フランジに取り付けられ、広い測定範囲 (10^-5 ~ 1000 torr) を提供します。
石英管とシールフランジ	80 mm O.D. x 72 mm ID. x 1400 mm 石英管を含む。バルブと圧力計付き真空フランジが付属。
試料ホルダー付きスライドフランジ	試料移動用スライド（手動式）は、オプションとして$1900で追加可能。
真空シールフランジ	ステンレス製フランジ2個に真空計とバルブが付属しています。機械式ポンプによる最低真空圧は5.5m-torr.(5.5x10^-3torr)です。機械式＋分子ポンプを使用すれば10^-5torrまで到達可能。リーク速度は5m-torr/分以下で、24時間後の安定した真空圧は2torr以下です。
酸素モニタリング	酸素センサーは、CVDシステムで使用されるガスの酸素レベルをモニターし、酸化を防止または低減するために使用できます。
真空ポンプ	最大真空圧10^-2torrの120L/mロータリーベーン真空ポンプが付属しています。管状炉に接続するためのステンレス製ホースチューブが付属しています。
ガス流量計と圧力計	モバイルケース内に3台のガス流量計（精度4％FS）を設置し、ガス流量のモニタリングが可能です（合計3種類のガス）。小型直読式流量計、10～100cc/min。小型直読式流量計、16～160cc/min。小型直読式流量計、25～250 cc/分。移動台車内に4台の圧力計を設置し、3種類の流動ガス圧力とミキシングタンクの圧力を監視することができます。
輸送重量	850ポンド
バルブ	移動式カートのサイドパネルに4つのステンレス製バルブが設置されており、3種類の入口ガスの混合を個別に制御します。
寸法	炉： 1100 X 450 X 670 mm 底部移動式ケース600 x 600 x 597 mm
保証	1年間のメーカー限定保証
注意事項	管状炉内の正確な温度を得るには、ご自身で温度校正を行う必要があります。アルミナ管を装備した管状炉は真空および低圧 < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa での使用を想定しています。管への熱衝撃を軽減するため、ガス流量は < 200 SCCM (または 200 ml/分) に制限する必要があります。注意安全な操作のため、ガスシリンダーに2段階圧力レギュレーターを取り付け、圧力を3 PSI以下に制限する必要があります。全石英管状炉の真空限界の定義：* 真空圧力は1000°Cまでしか安全に使用できません。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証 (別途料金)

MF5928 (生産中止品) 1200℃ 3ゾーン石英管状炉 OTF-1200X-III-80-F3LV

生産終了

1200C 3ゾーン石英管状炉 OTF-1200X-III-80-F3LV 解説

1200℃ 3ゾーン石英管炉 OTF-1200X-III-80-F3LV 仕様

1200℃ 3ゾーン石英管炉 OTF-1200X-III-80-F3LV 用途

1200C 三ゾーン石英管状炉 OTF-1200X-III-80-F3LV パッキング

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