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| カタログ番号 | MF5929 |
| 商品番号 | OTF-1200X-HVC3 |
| 動作温度 | ≤1100℃連続 |
CVD用1200℃管状炉 OTF-1200X-HVC3は、OTF-1200Xシリーズ管状炉、精密マスフローガス制御ステーション、高真空ステーション、およびその他の重要なコンポーネントで構成されています。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は、高品質の管状炉を製造・供給する豊富な経験を有しています。
関連製品1500℃コンパクト水素ガス管状炉 GSL-1500X-50HG、1200℃ハイブリッドマッフル管状炉 KSL-1200X-J-H、真空シールクルーシブル移動式管状炉 OTF-1200X-DVD
CVD用1200℃管状炉OTF-1200X-HVC3は、OTF-1200Xシリーズ管状炉、精密マスフローガス制御ステーション、高真空ステーション、およびその他の重要なコンポーネントで構成されています。このワークステーションの最高使用温度は1200℃で、付属のシーリングアセンブリにより10^-4torrの極限真空度を達成することができます。マスフローガス制御ステーションは最大3種類のガスを混合でき、混合ガスは炉内の石英管に流入します。このセットアップは、化学蒸着(CVD)、拡散、その他の熱処理などの実験を真空条件下で、シールドガス保護付きで行うのに理想的です。
OTF-1200X シリーズ 管状 炉
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炉構造 |
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加工管 |
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電源 |
2.5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
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使用温度 |
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加熱ゾーンの長さ |
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発熱体 |
Mo添加Fe-Cr-Al合金 |
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温度コントローラー |
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真空シール |
機械式圧力計 ニードルバルブ2個 高真空ステーション用KF-25コネクター1個 |
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電源 |
100-110W |
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定格電圧 |
208-240VAC、単相、50/60Hz |
高真空ステーション
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構造 |
移動台車サイズ:600(L) x 600(W) x 700(H), mm 最大積載量最大積載量上に600ポンド 分子ポンプ制御パネル:LCDデジタル 内部:真空ポンプ |
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容積流量 |
窒素 N2: 33 L/s |
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使用範囲 |
1000 mbarから<1E-7 mbarまで |
|
最高圧力 |
<1E-8 mbar (リークなし) |
マスフローガスコントロール
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構造 |
316ステンレス製バルブ ガス混合タンク: Φ80X120mm 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) 6 "カラータッチスクリーンコントロールパネルにより、パラメータ設定が容易。 タッチスクリーンコントロールとPCリモート切り替え可能。 |
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出力 |
23W/チャンネル |
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定格電圧 |
AC 220V/50Hz 単相 |
弊社のCVD用1200C管状炉OTF-1200X-HVC3は 、製品の品質を原状に保持するため、保管および輸送中に慎重に取り扱われます。
OTF-1200X シリーズ 管状 炉
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炉構造 |
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加工管 |
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電源 |
2.5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
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使用温度 |
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加熱ゾーンの長さ |
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発熱体 |
Mo添加Fe-Cr-Al合金 |
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温度コントローラー |
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真空シール |
機械式圧力計 ニードルバルブ2個 高真空ステーション用KF-25コネクター1個 |
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電源 |
100-110W |
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定格電圧 |
208-240VAC、単相、50/60Hz |
高真空ステーション
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構造 |
移動台車サイズ:600(L) x 600(W) x 700(H), mm 最大積載量最大積載量上に600ポンド 分子ポンプ制御パネル:LCDデジタル 内部:真空ポンプ |
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容積流量 |
窒素 N2: 33 L/s |
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使用範囲 |
1000 mbarから<1E-7 mbarまで |
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最高圧力 |
<1E-8 mbar (リークなし) |
マスフローガスコントロール
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構造 |
316ステンレス製バルブ ガス混合タンク: Φ80X120mm 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) 6 "カラータッチスクリーンコントロールパネルにより、パラメータ設定が容易。 タッチスクリーンコントロールとPCリモート切り替え可能。 |
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出力 |
23W/チャンネル |
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定格電圧 |
AC 220V/50Hz 単相 |
*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。
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