1200℃耐食セット付管状炉 OTF-1200X-F3LV の商品概要
1200℃耐食セット付管状炉 OTF-1200X-F3LVは、φ80mm石英管、機械式真空ポンプ、3チャンネルガスフローシステムを採用した分割式シングルゾーン管状炉です。最大10^-2torrの真空度を達成し、化学気相蒸着（CVD）または拡散プロセス用に1～3種類のガスを混合することができます。このファーネスシステムはPTFEガスシステムセットを装備しており、ステンレス鋼を超える優れた耐食性を提供します。腐食防止ゲージ、コールドトラップ付き真空ポンプ、PTFEガス混合およびフランジシステムを装備しており、腐食性ガスの取り扱いにおいて耐久性と精度を保証します。
耐食セット付1200℃管状炉 OTF-1200X-F3LVの仕様
OTF-1200X シリーズ 管状 炉
|
炉構造
|
- 空冷式二重ケーシング： 耐久性と安全性の向上
- サーモスタット内蔵：ケーシング温度が55℃を超えると自動的に冷却システムを作動
- 腐食防止ゲージ：腐食性ガスの存在下でも正確な真空測定が可能
- コールドトラップ付き真空ポンプ：アグレッシブなガスが真空ポンプに到達するのを防ぎ、真空ポンプを保護します。
- PTFEガスミキサーとフランジ：アグレッシブなガスと影響を受けやすい表面との接触を最小限に抑えます。
|
|
加熱エレメント
|
Mo添加Fe-Cr-Al合金
|
|
パワー
|
2.5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz
|
|
使用温度
|
- 最高使用温度温度：1200℃（1時間）、1100℃（連続）
- 加熱速度：≤20℃/分
- 温度精度：±1.0
|
|
加熱ゾーンの 長さ
|
400 mm
|
|
温度コントローラー
|
- SCR（シリコン制御整流器）によるPID自動制御、位相角制御、電流制限抵抗器付き。
- 加熱速度、冷却速度、滞留時間を正確に制御するためのプログラム可能な30セグメント。
- 過熱および熱電対破損保護機能付きPID自動調整機能内蔵。
- 過熱保護とアラーム機能により、付添い人なしで操作可能。
- 温度精度±1℃。
- RS485通信ポート。
*高度温度制御（オプション）
|
|
管のサイズおよび材料
|
石英管
外径80mm×内径75mm×長さ1000mm
|
|
デジタル真空計
|
- 腐食性ガスが存在する真空測定用に特別に設計されたセラミックコーティングされたセンサーヘッドを持つ耐腐食性キャパシタンスダイアフラムゲージ。
- 真空計は管状炉の真空フランジ（右側）に取り付けられ、広い測定範囲（10^-5~ 1000torr）を提供します。
|
|
真空シールフランジ
|
真空ゲージとバルブを備えたPTFE製フランジです。
|
|
真空ポンプ
|
- 156 L/m 二段式ロータリーベーン真空ポンプを装備、最大真空圧は10E-4 torrです。
- 管状炉に接続するためのステンレス製ホースチューブが付属しています。
- 腐食性物質を捕捉するためのコールドトラップが付属しています。
|
|
流量計と圧力計
|
PTFE製3チャンネルガスミキサー1台が移動ケース内に 設置され 、ガス流量のモニタリングが可能です。
|
|
寸法
|
- 炉: 550 x 380 x 520 mm
- 底部移動ケース600 x 600 x 650 mm
|
|
正味重量
|
~ 70 kg
|
|
出荷重量
|
350 ポンド
|
|
出荷寸法
|
1パレット2ケース：45 "x45 "x35"/ケース
|
|
保証
|
1年間限定メーカー保証（処理チューブ、Oリング、発熱体などの消耗部品は保証対象外です。）
|
|
適合規格
|
CE認証
NRTLまたはCSAの認証取得も可能です。
|
|
注意事項
|
- 管状炉内の正確な温度を得るためには、ご自身で温度校正を行う必要があります。
- 警告石英管を装備した管状炉は真空および低圧 < 0.2 bar での使用を想定しています。
- 注意安全な操作のため、ガスボンベには圧力を3 PSI未満に制限する二段式圧力レギュレーターを設置する必要があります。
- チューブへの熱衝撃を軽減するため、ガスの流量を200SCCM未満に制限すること。
- 真空圧は1000℃までしか安全に使用できない。
|
耐食セット付き1200℃管状炉 OTF-1200X-F3LV 用途
様々な基板への薄膜やコーティングの成膜に最適。
半導体デバイスや太陽電池の製造に使用される。
固体内の原子や分子の移動を促進する。
半導体材料の開発や加工に欠かせない。
制御された真空環境下でのアニール、焼結、その他の熱処理を可能にする。
コンタミネーションや酸化を低減し、材料特性を向上させる。
優れた耐腐食性のPTFEガスシステムを装備。
腐食性ガスや反応性ガスの使用を必要とする実験に適しています。
1200℃管状炉 耐食セット OTF-1200X-F3LV梱包
1200℃管状炉 耐食セット OTF-1200X-F3LVの 梱包は厳重に行っております。
