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カタログ番号 | MF5933 |
商品番号 | OTF-1200X-F3LV |
動作温度 | ≤1100℃連続 |
1200℃耐食セット付管状炉 OTF-1200X-F3LVは、直径80mmの石英管、機械式真空ポンプ、3チャンネルガスフローシステムを備えた分割可能なシングルゾーン管状炉です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は高品質の管状炉の製造と供給において豊富な経験を持っています。
関連製品1500℃コンパクト水素ガス管状炉 GSL-1500X-50HG、1200℃ハイブリッドマッフル管状炉 KSL-1200X-J-H、真空シールクルーシブル移動式管状炉 OTF-1200X-DVD
1200℃耐食セット付管状炉 OTF-1200X-F3LVは、φ80mm石英管、機械式真空ポンプ、3チャンネルガスフローシステムを採用した分割式シングルゾーン管状炉です。最大10^-2torrの真空度を達成し、化学気相蒸着(CVD)または拡散プロセス用に1~3種類のガスを混合することができます。このファーネスシステムはPTFEガスシステムセットを装備しており、ステンレス鋼を超える優れた耐食性を提供します。腐食防止ゲージ、コールドトラップ付き真空ポンプ、PTFEガス混合およびフランジシステムを装備しており、腐食性ガスの取り扱いにおいて耐久性と精度を保証します。
OTF-1200X シリーズ 管状 炉
炉構造 |
|
加熱エレメント |
Mo添加Fe-Cr-Al合金 |
パワー |
2.5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
使用温度 |
|
加熱ゾーンの 長さ |
400 mm |
温度コントローラー |
*高度温度制御(オプション) |
管のサイズおよび材料 |
石英管 外径80mm×内径75mm×長さ1000mm |
デジタル真空計 |
|
真空シールフランジ |
真空ゲージとバルブを備えたPTFE製フランジです。 |
真空ポンプ |
|
流量計と圧力計 |
PTFE製3チャンネルガスミキサー1台が移動ケース内に 設置され 、ガス流量のモニタリングが可能です。 |
寸法 |
|
正味重量 |
~ 70 kg |
出荷重量 |
350 ポンド |
出荷寸法 |
1パレット2ケース:45 "x45 "x35"/ケース |
保証 |
1年間限定メーカー保証(処理チューブ、Oリング、発熱体などの消耗部品は保証対象外です。) |
適合規格 |
CE認証 NRTLまたはCSAの認証取得も可能です。 |
注意事項 |
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様々な基板への薄膜やコーティングの成膜に最適。
半導体デバイスや太陽電池の製造に使用される。
固体内の原子や分子の移動を促進する。
半導体材料の開発や加工に欠かせない。
制御された真空環境下でのアニール、焼結、その他の熱処理を可能にする。
コンタミネーションや酸化を低減し、材料特性を向上させる。
優れた耐腐食性のPTFEガスシステムを装備。
腐食性ガスや反応性ガスの使用を必要とする実験に適しています。
1200℃管状炉 耐食セット OTF-1200X-F3LVの 梱包は厳重に行っております。
OTF-1200X シリーズ 管状 炉
炉構造 |
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加熱エレメント |
Mo添加Fe-Cr-Al合金 |
パワー |
2.5KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
使用温度 |
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加熱ゾーンの 長さ |
400 mm |
温度コントローラー |
*高度温度制御(オプション) |
管のサイズおよび材料 |
石英管 外径80mm×内径75mm×長さ1000mm |
デジタル真空計 |
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真空シールフランジ |
真空ゲージとバルブを備えたPTFE製フランジです。 |
真空ポンプ |
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流量計と圧力計 |
PTFE製3チャンネルガスミキサー1台が移動ケース内に 設置され 、ガス流量のモニタリングが可能です。 |
寸法 |
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正味重量 |
~ 70 kg |
出荷重量 |
350 ポンド |
出荷寸法 |
1パレット2ケース:45 "x45 "x35"/ケース |
保証 |
1年間限定メーカー保証(処理チューブ、Oリング、発熱体などの消耗部品は保証対象外です。) |
適合規格 |
CE認証 NRTLまたはCSAの認証取得も可能です。 |
注意事項 |
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*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。
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