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カタログ番号 | MF5936 |
商品番号 | GSL-1700X-III-F3LV |
動作温度 | ≤1600℃連続 |
1700C 3ゾーンアルミナ管状炉 GSL-1700X-III-F3LVは、直径60mmのアルミナ管、機械式真空ポンプ、3チャンネルガスフローシステムを備えた3ゾーン管状炉です。Stanford Advanced Materials (SAM) 社は、高品質の管状炉の製造と供給において豊富な経験を持っています。
関連製品1500℃コンパクト水素ガス管状炉 GSL-1500X-50HG、1200℃ハイブリッドマッフル管状炉 KSL-1200X-J-H、真空シールクルーシブル移動式管状炉 OTF-1200X-DVD
1700C 3ゾーンアルミナ管状炉 GSL-1700X-III-F3LVは、直径60mmのアルミナ管、機械式真空ポンプ、3チャンネルガスフローシステムを備えた3ゾーン管状炉です。試料を最高1700℃まで加熱し、最高5x10^-2 torrの真空度を達成することができます。このファーネスシステムは、化学気相蒸着(CVD)や拡散プロセスに不可欠な1~3種類のガスの精密混合を可能にします。さらに、腐食に強いピラニキャパシタンスダイアフラムゲージを装備し、腐食性の強いガスでも正確な真空測定が可能です。
炉構造 |
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電力 |
10 KW、AC 208-240V単相、50/60 Hz |
加熱ゾーン |
3ゾーン:合計25インチ(630 mm)の加熱ゾーン(2つの耐火物セパレーターを含む)
使用温度 800 - 1400°C 加熱速度10℃/分
使用温度 800 - 1700°C 最大加熱速度5℃/分
使用温度 800 - 1400 最高使用温度加熱速度:10℃/分 |
チューブサイズとフランジ |
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温度温度制御 |
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真空計 |
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寸法 |
550 x 380 x 520 mm |
真空ポンプ |
真空ステーション内に設置された2段排気システム付き大型ロータリーベーン真空ポンプ(7.8 CFM -240 L/m)。 真空システムはポンピング後30分で5x10-2 torrに到達します。 真空ポンプに接続するために、フランジにKFD25アダプターが1個取り付けられています。 |
3チャンネルガス混合供給システム |
1) 小型直読式流量計、10~100cc/min. 2)小型直読式流量計 16~160cc/min 3) 小型直読式流量計、25~250cc/min。
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電源ケーブル&プラグ |
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寸法 |
炉:863長さ×457幅×711高さmm(34長さ×18幅×28高さインチ) ガスカート850 mm (L) x 600 mm (W) x 700 mm (H) |
正味重量 |
150Kg(炉) + 100Kg(合計550ポンド) |
輸送重量 |
800ポンド |
輸送寸法 |
1パレット2ケース:45x45x35/ケース |
保証 |
1年間限定メーカー保証(処理チューブ、Oリング、発熱体などの消耗部品は保証対象外です。) |
適合規格 |
CE認証 UL / MET / CSA認証はご要望に応じて取得可能です。 |
警告 |
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制御されたガス雰囲気で基板上に薄膜やコーティングを成膜できます。
半導体製造、表面コーティング、ナノ材料合成に使用。
固体材料内の原子や分子の制御された移動を促進する。
半導体材料のドーピングや材料特性の向上に不可欠。
材料の結晶性を向上させ、欠陥を除去するためのアニールプロセスに最適。
セラミックや金属の焼結をサポートし、緻密化と機械的特性の向上を図る。
高温での材料の挙動と特性を研究するための制御された環境を提供します。
研究室での新しい材料やプロセスの探求に不可欠です。
弊社の1700C 3ゾーンアルミナ管状炉 GSL-1700X-III-F3LVは 、弊社の製品の品質を元の状態で維持するために保管および輸送の間、慎重に取り扱われます。
炉の構造 |
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電力 |
10 KW、AC 208-240V単相、50/60 Hz |
加熱ゾーン |
3ゾーン:合計25インチ(630 mm)加熱ゾーン(2つの耐火物セパレーターを含む)
使用温度 800 - 1400°C 加熱速度10℃/分
使用温度 800 - 1700°C 最大加熱速度5℃/分
使用温度 800 - 1400 最高使用温度加熱速度:10℃/分 |
チューブサイズとフランジ |
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温度温度制御 |
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真空計 |
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寸法 |
550 x 380 x 520 mm |
真空ポンプ |
真空ステーション内に設置された2段排気システム付き大型ロータリーベーン真空ポンプ(7.8 CFM -240 L/m)。 真空システムはポンピング後30分で5x10-2 torrに到達します。 真空ポンプに接続するために、フランジにKFD25アダプターが1個取り付けられています。 |
3チャンネルガス混合供給システム |
1) 小型直読式流量計、10~100cc/min. 2)小型直読式流量計 16~160cc/min 3) 小型直読式流量計、25~250cc/min。
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電源ケーブル&プラグ |
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寸法 |
炉:863長さ×457幅×711高さmm(34長さ×18幅×28高さインチ) ガスカート850 mm (L) x 600 mm (W) x 700 mm (H) |
正味重量 |
150Kg(炉) + 100Kg(合計550ポンド) |
輸送重量 |
800ポンド |
輸送寸法 |
1パレット2ケース:45x45x35/ケース |
保証 |
1年間限定メーカー保証(処理チューブ、Oリング、発熱体などの消耗品は保証対象外です。) |
適合規格 |
CE認証 UL / MET / CSA認証はご要望に応じて取得可能です。 |
警告 |
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*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。
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