CY5457 パターン化サファイア基板

カタログ番号	CY5457
素材	Al2O3単結晶
サイズ	直径50.80 ± 0.10, Dia.100.00 ± 0.10 (mm)
研磨	片面研磨、エピ・レディ
純度	>99.99%

パターン化サファイア基板は、ハイパワーの開発に広く利用されている特殊なマイクロパターン化サファイア基板です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ（SAM）は、高品質の水晶基板を製造・供給する豊富な経験を持っています。

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材料	単結晶Al₂O3
グレード	プライム、エピレディ
面方位	C面（0001）
直径（mm）	50.80 ± 0.10, 100.00 ± 0.10
厚さ（μm）	660 ± 10
一次平面の方向	A面（11-20）±0.2度
一次平面の長さ	16.0 mm +/- 1.0 mm
研磨	片面研磨
総厚みばらつき（TTV）	≤10 um
反り	15um
純度	>99.99%
パターン幅 (μm)	2.75~2.85
パターン高さ (μm)	1.65~1.85
パターンピッチ（μm）	3.0 ± 0.05

材質	単結晶_Al2O3
グレード	プライム、エピレディ
表面方位	C面（0001）
直径（mm）	50.80 ± 0.10, 100.00 ± 0.10
厚さ（μm）	660 ± 10
一次平面の方向	A面（11-20）±0.2度
一次平面の長さ	16.0 mm +/- 1.0 mm
研磨	片面研磨
総厚みばらつき（TTV）	≤10 um
反り	15um
純度	>99.99%
パターン幅 (μm)	2.75~2.85
パターン高さ (μm)	1.65~1.85
パターンピッチ（μm）	3.0 ± 0.05

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