チタンアルミシリコンスパッタリングターゲット 説明
チタンアルミシリコンスパッタリングターゲット、Ti/Al/Siは、薄膜蒸着プロセスにおいて卓越した性能を発揮するように設計されています。99%以上の高純度と特注形状のオプションにより、このターゲットは高度な製造環境における一貫性と精度のために最適化されています。均一な成膜を必要とするアプリケーションに信頼性の高いソリューションを提供し、最終製品の耐久性と性能の向上を保証します。
チタンアルミシリコンスパッタリングターゲット用途
- 薄膜蒸着:半導体やマイクロエレクトロニクスの製造において、均一で高品質な薄膜の形成に最適です。
- マイクロエレクトロニクス:集積回路製造やその他の電子部品製造に不可欠。
- オプトエレクトロニクス:LED、太陽電池、各種光学機器の開発に使用される。
- 表面工学:工業用コーティングにおいて、耐摩耗性や性能を向上させるために表面特性を改質するために使用される。
製品比較
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るつぼ材料
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融点 (°C)
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最高使用温度使用温度 (°C)
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相対コスト
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主要特性および代表的用途
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ニッケル (Ni)
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1,455
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≤ 700
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中程度
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優れた耐アルカリ性。水酸化ナトリウム、過酸化ナトリウムなどとの溶融に適する。空気中で容易に酸化し、発火や沈殿物の計量には適さない。
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銀(Ag)
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960
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≤ 750
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高融点。
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融点が低い。水酸化カリウム/水酸化ナトリウムの攻撃に耐える。硫黄含有物質や濃酸は避ける。沈殿物の計量には適さない。
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金(Au)
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1,063
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≤ 700
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高い
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優れた耐食性。フッ化水素酸または水酸化アルカリ処理において、プラチナに取って代わることができる。融点が低いため使用温度が低い。
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白金 (Pt)
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1,774
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長期:1,200
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高価。
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化学的性質が極めて安定している。フッ化水素酸と溶融炭酸塩に強い。沈殿物やフッ酸消化物の精密な点火/計量に最適。
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モリブデン (Mo)
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2,610
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2,000(不活性/真空)
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高温
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優れた高温強度。耐酸化性が良い。サファイア結晶成長、希土類金属製錬、真空蒸着に使用。
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ニオブ
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2,468
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1,200-1,800 (推定)
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高い
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融点が高く、耐食性に優れる。通常、高温真空または不活性雰囲気環境で使用される。
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タングステン (W)
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3,370
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2,200-2,500 (推定)
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非常に高い
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すべての金属の中で最も融点が高い。最も過酷な温度に適する。もろく、機械加工が難しく、一般的にモリブデンより高価。
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レニウム(Re)
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3,180
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2,300-2,800 (推定)
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極めて高価
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融点が非常に高く、強度も高い。非常に高価なため、使用は高度に専門的な研究か、独自の特性が重要な用途に限られる。
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イリジウム(Ir)
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2,446
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2,000~2,300(概算)
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極めて高価
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超高温でも空気中で安定な数少ない金属の一つ。酸化条件下での超高温実験に使用される。
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チタンアルミシリコンスパッタリングターゲットパッキング
当社のチタンアルミシリコンスパッタリングターゲットは、保管および輸送中に優れた品質を維持するために慎重に梱包されています。包装オプションには、お客様の特定の生産要件を満たすように調整された真空シールソリューションが含まれます。
よくある質問
Q: スパッタリングターゲットとは何ですか?
A: スパッタリング・ターゲットは、物理蒸着プロセスで使用される材料ソースで、高エネルギー粒子がターゲットから原子を放出し、基板上に薄膜を形成します。
Q: 高純度(99%以上)はスパッタプロセスにどのようなメリットがありますか?
A: 高純度であるため、コンタミネーションが少なく、安定した膜特性が得られ、成膜層の性能と信頼性が向上します。
Q: スパッタリングターゲットの形状はカスタマイズ可能ですか?
A: はい、チタンアルミシリコンスパッタリングターゲットは、標準的なディスク形状でご利用いただけますが、特定の装置やアプリケーションの要件に合わせてカスタムメイドすることも可能です。
Q: スパッタリングターゲットを使用することで最も恩恵を受ける業界はどこですか?
A: スパッタリングターゲットは、半導体、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、サーフェスエンジニアリング業界で広く使用されています。
Q: チタンアルミシリコンスパッタリングターゲットはどのように薄膜蒸着に使用されますか?
A: ターゲットはスパッタリングシステムに設置され、高エネルギー粒子を浴びせて原子を放出させ、基板上に堆積させて均一な薄膜を形成します。
仕様
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仕様
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詳細
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材質
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チタン アルミニウム シリコン
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記号
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Ti/Al/Si
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色/外観
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メタリック
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融点
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該当なし
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密度
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該当なし
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スパッタ
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該当なし
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ボンドの種類
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インジウム
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サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づくものであり、参考値です。実際の仕様は異なる場合があります。