単結晶シリコン引上げ用石英るつぼ 説明
シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼは、石英またはシリカガラスから作られた特殊な装置です。ルツボは、Czochralski(CZ)プロセスでシリコン単結晶を引き上げるためのものです。様々な科学的および工業的用途で使用され、特に真空システムでは封じ込め容器の役割を果たします。石英の透明性、高純度、化学的不活性、優れた熱安定性は、このような用途に理想的な材料です。
単結晶シリコン引き上げ用石英るつぼ仕様
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材質
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石英、SiO2
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使用温度
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1100-1200℃
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純度
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99.99%
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融点
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1660-1710℃
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軟化点
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1570℃
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密度
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2.2g/cm3
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標準寸法(mm)
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仕様
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D
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H
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W1
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W2
|
W3
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R1
|
R2
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14インチ
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355±3
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240±3
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10±3
|
10±3
|
11±3
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89
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381
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16 インチ
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405±2
|
280±3
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9±2
|
9±2
|
9±2
|
90
|
450
|
|
18 インチ
|
457±3
|
355±2
|
7-12
|
7-12
|
7-12
|
88-120
|
457-500
|
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20インチ
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505±3
|
385±2
|
11±2
|
11±2
|
11±2
|
120
|
508
|
|
22インチ
|
555-560
|
406±2
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
127
|
560
|
|
24インチ
|
609+2/-3
|
440±3
|
11-2/+3
|
12-2/+3
|
12-2/+3
|
120
|
610
|
|
25インチ
|
632±3
|
460±3
|
11+3/-1
|
11+3/-1
|
14+4/-2
|
120
|
635
|
|
26インチ
|
654±3
|
500±3
|
12+3/-1
|
12+3/-1
|
14+4/-2
|
120
|
660
|
|
28 インチ
|
708±3
|
556±3
|
13.5±2
|
13.5±2
|
19.0±3
|
120
|
710
|
|
30 インチ
|
758±3
|
580±3
|
13.5±2
|
13.5±2
|
19.0±3
|
120
|
760
|
|
32 インチ
|
810±3
|
680±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
21.0±4
|
120
|
81
|
|
S32インチ
|
834±4
|
680±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
21.0±4
|
120
|
834
|
|
S36インチ
|
943±4
|
760±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
22.0±4
|
160
|
947
|
|
40 インチ
|
1016±4
|
760±3
|
15.0±3
|
15.0±3
|
25.0±5
|
160
|
1016
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*特注サイズも承りますので、お問い合わせください。
単結晶シリコン引き上げ用石英るつぼ
石英るつぼは主に太陽光発電と半導体分野で使用され、太陽エネルギーと半導体ユーザーの高温条件下でのシリコン単結晶の連続引き上げをサポートすることができます。
製品比較
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るつぼタイプ
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材質
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最高温度 (°C)
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熱伝導率
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耐熱衝撃性
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耐薬品性
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用途
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石英セラミック
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石英セラミック
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1100
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低い
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高
|
高
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一般実験室
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BeOセラミック
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酸化ベリリウム
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1800
|
非常に高い
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高い
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高温
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高温、電子機器
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PGコートC
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PGコート黒鉛
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2000
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高温(異方性)
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非常に高い
|
高い
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結晶成長、蒸発
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PGコートPBN
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PGコートPBN
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1800
|
高い
|
非常に高い
|
非常に高い
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高純度結晶成長
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PBNるつぼ
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熱分解BN
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1800
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高純度
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非常に高い
|
非常に高い
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MBE、OLED、VGF、LECプロセス
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AlNるつぼ
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窒化アルミニウム
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1800
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高い
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高い
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高
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半導体、パッケージング
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SiCるつぼ
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炭化ケイ素
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1600
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高い
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非常に高い
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高い
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金属溶解、鋳造
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H-BNるつぼ
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ホットプレスBN
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1800
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中程度
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非常に高い
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高い
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金属加工、はんだ付け
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チタン酸アルミニウム
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チタン酸アルミニウム
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1400
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低い
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優秀
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中程度
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熱サイクル、ガラス産業
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アルミナるつぼ
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酸化アルミニウム
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1700
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中程度
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中程度
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高温
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一般高温用
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Si用石英
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溶融石英
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1200
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低い
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高
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高
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シリコン単結晶育成(Czochralski)
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シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼの 梱包について
当社のシリコン単結晶引き上げ用石英るつぼは、製品の品質を原状に保つため、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。