サファイアキャリアプレートは耐薬品性と高硬度が特徴で、最も耐久性があり、傷がつきにくい材料です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は、高品質の結晶基板を製造・供給する豊富な経験を持っています。
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- 表面全体がサファイアで覆われているため、耐薬品性、耐プラズマ性に優れ、酸やアルカリによるエッチングを防ぎます。
材質品目
サファイア
色
透明
含有率
99.99
密度(g/cm3)
3.97
ビッカース硬度 HV9.807N (Gpa)
22.5
ヤング率
470
圧縮強さ (Mpa)
2,940
熱伝導率(20℃)(W/(m・K)
41
サファイアキャリアプレートは、GaAsウエハーのキャリアプレートとして使用されます。
サファイアは、耐プラズマ性、耐熱性に優れているため、各種半導体プロセス装置に使用されています。
サファイアキャリアプレートは、製品の品質を損なわないよう、保管・輸送時に細心の注意を払っています。
素材アイテム
カラー
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