サファイアキャリア・プレートの説明
- 表面全体がサファイアで覆われているため、耐薬品性、耐プラズマ性に優れ、酸やアルカリによるエッチングを防ぎます。
- 一部のサンプル溶液の極端な自然状態や温度変化に耐えられます。

キャリアプレート仕様
材質 品目
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サファイア
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色
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透明
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含有率
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99.99
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密度(g/cm3)
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3.97
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ビッカース硬度 HV9.807N (Gpa)
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22.5
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ヤング率
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470
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圧縮強さ (Mpa)
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2,940
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熱伝導率(20℃)(W/(m・K)
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41
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サファイアキャリアプレートの用途
サファイアキャリアプレートは、GaAsウエハーのキャリアプレートとして使用されます。
サファイアは、耐プラズマ性、耐熱性に優れているため、各種半導体プロセス装置に使用されています。
サファイアキャリア板の 梱包
サファイアキャリアプレートは、製品の品質を損なわないよう、保管・輸送時に細心の注意を払っています。
仕様
素材 アイテム
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サファイア
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カラー
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透明
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含有率
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99.99
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密度(g/cm3)
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3.97
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ビッカース硬度 HV9.807N (Gpa)
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22.5
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ヤング率
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470
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圧縮強さ (Mpa)
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2,940
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熱伝導率(20℃)(W/(m・K)
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41
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*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。