クォーツボートの説明
石英ボートは、半導体製造および化学処理産業において、シリコンウェーハやその他の基板を保持し、高温処理装置を通して搬送するために使用される特殊な容器です。高純度、化学的不活性、優れた熱安定性、耐熱衝撃性で知られる溶融石英から作られた石英ボートは、アニール、拡散、酸化、化学蒸着(CVD)などのプロセスに不可欠です。
石英ボートの仕様
材質
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石英、SiO2
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使用温度
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1100-1200℃
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純度
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99.99%
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サイズ
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4"、またはカスタマイズ
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融点
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1660-1710℃
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沸点
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4046℃
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密度
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2.2g/cm3
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石英ボート用途
- 半導体製造石英ボートは半導体産業で広く使用され、高温暴露や化学処理を必要とする様々な工程でシリコンウェハーを搬送する。
- 太陽電池製造:太陽電池の製造において、石英ボートはドーピングや酸化工程を含むシリコンウェーハの処理に使用されます。
- 研究開発学術・産業研究機関では、石英ボートは以下の用途に使用されています。
石英ボートの 包装
当社の水晶ボートは、製品の品質を元の状態に保つために、保管と輸送中に注意深く取り扱われます。