SC2275 熱酸化シリコンウェーハ

セクション 1.

製品名酸化ケイ素ウェハー

CAS番号：60676-86-0

物質の関連特定用途科学的研究開発

サプライヤーの詳細

スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ

電子メール：sales@samaterials.com

電話番号： (949) 407-8904

住所23661 Birtcher Dr., Lake Forest, CA 92630 U.S.A.

第 2 章 危険有害性の特定

2.1 物質または混合物の分類

29 CFR 1910 (OSHA HCS)に基づくGHS分類

眼刺激性（カテゴリー2A）、H319

特定標的臓器毒性-単回ばく露（区分3）、呼吸器系、H335

特定標的臓器毒性-反復ばく露、吸入（区分 2）、肺、H373

2.2 GHS ラベル要素（予防措置を含む

ピクトグラム

シグナルワード 警告

危険有害性情報

H319 眼に対する重篤な刺激性

H335 呼吸器への刺激のおそれ。

H373 吸入すると、長期又は反復ばく露により臓器（肺）に障害を起こすおそれ。

予防措置

P260 粉じん、ヒューム、ガス、ミスト、蒸気、スプレーを吸入しないこと。

P271 屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。

P280 保護手袋／保護眼鏡／保護面を着用すること。

P304 + P340 吸入した場合：空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で安静にさせること。

呼吸しやすい姿勢で安静にさせること。

P305 + P351 + P338 眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。コンタクトレンズ

コンタクトレンズがあり、容易に外せる場合は外すこと。すすぎを続けること。

P314 気分が悪い時は、医師の診断／手当てを受けること。

P337 + P313 目の刺激が続く場合：医師の診断／手当てを受けること。

P403 + P233 換気の良い場所で保管すること。容器を密閉して保管すること。

P405 施錠して保管すること。

P501 内容物／容器を認可された廃棄物処理施設に廃棄すること。

HMIS 評価

健康に対する有害性： 2

慢性健康障害：*

引火性： 0

物理的危険性 0

NFPA評価

健康危険性：2

火災危険性： 0

反応危険性： 0

2.3 他に分類されない危険有害性（HNOC）または GHS でカバーされない危険有害性 - なし

セクション 3.組成／成分情報

3.1 物質名

同義語：シリカ

石英

砂

クリストバライト

式 ：O2Si

分子量：60.08 g/mol

CAS 番号： 60676-86-0

EC番号：262-373-8

有害成分

成分 分類 濃度

シリカ、ガラス質

眼刺激性2A; ストット SE 3；

STOT RE 2; H319, H335、

H373, H319, H335, H373

<= 100 %

STOT RE 特定標的臓器毒性-反復暴露

STOT SE 特定標的臓器毒性-単回暴露

セクション 4.応急措置

4.1 応急措置の説明

一般的アドバイス

医師に相談すること。この安全データシートを医師に見せること.

危険区域から移動すること。

吸入した場合

吸入した場合、新鮮な空気の場所に移動させること。呼吸していない場合、人工呼吸を行うこと。医師に相談すること。

皮膚に付着した場合

石鹸と多量の水で洗い流すこと。医師に相談すること。

眼に入った場合

15分以上多量の水で十分に洗浄し、医師の診断を受けること。

飲み込んだ場合

意識のない人には絶対に口から何も与えないこと。水で口をすすぐこと。医師に相談すること。

4.2 急性および遅発性の最も重要な症状および影響

最も重要な既知の症状および影響は、ラベル（2.2 節を参照）に記載されている。

および/または第 11 章に記載されている。

4.3 直ちに医師の手当が必要な場合及び特別な処置が必要な場合の表示

データなし

セクション 5.消火対策

5.1 消火剤

適切な消火剤

水噴霧、耐アルコール泡、ドライケミカルまたは二酸化炭素を使用する。

5.2 物質または混合物から生じる特別な危険性

分解生成物の性質は不明。

5.3 消防士へのアドバイス

必要な場合は、消火のために自給式呼吸器を着用すること。

5.4 更なる情報

データなし

セクション 6.偶発的放出対策

6.1 個人的予防措置、保護具及び緊急時措置

個人用保護具を使用すること。粉塵の発生を避けること.蒸気、ミスト、ガスの吸入を避けること。適切な

適切な

換気を行うこと.作業者を安全な場所に避難させること.粉塵の吸入を避けること.

個人保護についてはセクション 8 を参照。

6.2 環境に対する注意事項

製品を排水溝に流入させないこと。

6.3 封じ込め及び浄化の方法及び機材

粉塵を発生させることなく回収し、廃棄する。掃き集めてシャベルで掘る。適切な密閉容器に保管する。

容器に保管すること。

廃棄する。

6.4 他のセクションの参照

廃棄については、第 13 節を参照のこと。

第7節 取扱い及び保管

7.1 安全な取り扱いのための注意事項

皮膚や目に触れないようにする。粉塵やエアロゾルの発生を避けること。

粉塵が発生する場所では適切な換気を行うこと。

注意事項については 2.2 節を参照のこと。

7.2 安全な保管条件（非適合性を含む

乾燥した換気の良い場所で容器を密閉して保管する。

7.3 特定の最終用途 1.2 節に記載された用途以外には、特定の用途は規定されていない。

セクション 8.ばく露防止及び保護措置

8.1 管理パラメータ

職場の管理パラメータを持つ成分

成分シリカ、ガラス質

CAS 番号 : 60676-86-0

値｜管理パラメータ｜基準

TWA｜20.0000000000個/立方フィート｜USA.職業暴露限界値（OSHA） - 表

Z-3 鉱物粉じん

備考備考：ライトフィールド法で計数したインピンジャーサンプルに基づく、空気1立方フィート当たり数百万粒子。

技術に基づく。

mppcf X 35.3 = 百万粒子/立方メートル = 粒子/立方メートル

表Z-3参照

TWA｜20.000000 百万粒子／立方フィート｜米国。職業暴露限度（OSHA）-表

Z-3 鉱物粉じん

空気1立方フィート当たり数百万粒子。

ライトフィールド法でカウント。

mppcf X 35.3 = 百万粒子／立方メートル = 粒子／立方メートル

TWA｜80.000000 mg/m3 / %SiO2｜ 米国。職業暴露限界値（OSHA） - 表Z-3 鉱物

粉じん

TWA｜20.000000 万粒子／立方フィート｜USA.職業暴露限界値（OSHA）-表

Z-3 鉱物粉じん

ライトフィールド法で計数したインピンジャーサンプルに基づく、空気1立方フィートあたりの百万粒子。

mppcf X 35.3 = 百万粒子／立方メートル = 粒子／立方メートル

TWA｜80.000000 mg/m3 / %SiO2｜ 米国。職業暴露限界値

(OSHA) - 表Z-3 鉱物粉じん

TWA｜0.050000 mg/m3｜ 米国.NIOSH 推奨暴露限界値

潜在的職業発がん物質

付録 A を参照

TWA｜0.050000 mg/m3｜ 米国.NIOSH 推奨暴露限界値

潜在的職業発がん物質

付録 A を参照

TWA｜6.000000 mg/m3｜ 米国.NIOSH 推奨暴露限界値

TWA｜6.000000 mg/m3｜ 米国.NIOSH 推奨暴露限界値

セクション 8.暴露防止及び保護措置

適切な技術的管理

適切な産業衛生および安全対策に従って取り扱うこと。休憩前および作業終了時の手洗い

および作業終了時に手を洗うこと。

個人保護具

目／顔の保護具

EN166 に適合するサイドシールド付き安全眼鏡 NIOSH（米国）または EN 166（EU） などの適切な政府規格に基づき試験および承認された眼の保護具を使用する。

NIOSH (米国) または EN 166 (EU) などの適切な政府規格に基づき試験および承認された眼保護具を使用してください。

皮膚の保護

手袋を着用して取り扱うこと。手袋は使用前に点検すること。適切な手袋の外し方

(本製品との皮膚接触を避けるため、適切な手袋の外し方（手袋の外面に触れない）をすること。使用後

汚染された手袋は、適用される法律および適正検査基準に従って廃棄すること。

手袋の適合性は、材質と品質の両方によって判断する必要があります。

手袋の適合性は、材質と品質によって判断する必要があります。

手袋の材質

ニトリルゴム、NBR

手袋材料の浸透時間（分）

データなし

身体の保護具

保護具の種類は、特定の作業場における危険物質の濃度と量に応じて選択する必要がある。

保護具の種類は、特定の作業場における危険物質の濃度および量に応じて選択する必要がある。

呼吸器の保護具

有害な暴露には、P95型（米国）またはP1型（EU EN 143）の粒子用呼吸器を使用する。より高いレベルの

OV/AG/P99型（米国）またはABEK-P2型（EU EN 143）の呼吸器用カートリッジを使用してください。使用方法

以下のような適切な政府規格の下で試験され、承認された呼吸マスクおよびコンポーネントを使用してください。

NIOSH (US) または CEN (EU) などの適切な政府規格に基づいて試験および承認された呼吸器およびコンポーネントを使用してください。

環境暴露の管理

製品を排水溝に流入させないこと。

第9章 物理的及び化学的性質

9.1 基本的な物理的及び化学的性質に関する情報

a) 外観 形状様々な形状の粉末、破片又は固体

b) 臭い データなし

c) 臭気閾値 データなし

d) pH データなし

e) 融点／凝固点

融点

融点／範囲1,610 °C - lit.

f) 初期沸点および

沸点範囲

データなし

g) 引火点 該当なし

h) 蒸発率 データなし

i) 引火性（固体、気体） データなし

j) 上部/下部

可燃性または

爆発限界

データなし

k) 蒸気圧 データなし

l) 蒸気密度 データなし

m) 相対密度 25 °C で 2.6 g/mL

n) 水溶性 データなし

o) 分配係数：ノクタノール/水

水

データなし

p) 自着火

温度

データなし

q) 分解温度

温度

データなし

r) 粘度 データなし

s) 爆発性 データなし

t) 酸化性 データなし9.2 その他の安全情報

データなし

セクション 10.安定性及び反応性

10.1 反応性

データなし

10.2 化学的安定性

推奨される保管条件下では安定である。

10.3 危険有害反応可能性

データなし

10.4 避けるべき条件

データなし

10.5 混触危険物質

データなし

10.6 危険有害な分解生成物

その他の分解生成物 - データなし

火災の場合：セクション 5 を参照。

セクション 11.毒性情報

11.1 毒物学的影響に関する情報

急性毒性

データなし

吸入：データなし

データなし：データなし

データなし

皮膚腐食性/刺激性

データなし

データなし 眼に対する重篤な損傷・眼刺激性

データなし

呼吸器感作性または皮膚感作性

データなし

生殖細胞変異原性

データなし

発がん性

発がん性-ラット-インプラント

腫瘍原性：RTECS基準では、腫瘍原性は不明。消化器：腫瘍。腫瘍原性：

部位または適用における腫瘍。

IARC： 3 - グループ 3：ヒトに対する発がん性について分類できない（シリカ、ガラス質）。

3 - グループ 3：ヒトに対する発がん性について分類できない（シリカ、ガラス質）。

1 - グループ1：ヒトに対する発がん性（シリカ、ガラス質）

IARC: 3 - グループ 3: ヒトに対する発がん性について分類できない (シリカ、ガラス質)

3 - グループ 3: ヒトに対する発がん性は分類できない (シリカ、ガラス質)

1 - グループ 1：ヒトに対する発がん性（シリカ、ガラス質）

ACGIH：0.1%以上の濃度で存在する本製品の成分は、発がん性物質または潜在的な発がん性物質として特定されていない。

ACGIH：0.1%以上の濃度で存在する本製品の成分は、ACGIHにより発がん性物質または潜在的な発がん性物質として特定されていない。

NTP：ヒトに対する発がん性が知られている（シリカ、ガラス質）

OSHAOSHA：0.1%以上の濃度で存在する本製品の成分は、発がん性物質またはその可能性がある物質として特定されていない。

OSHA：0.1%以上の濃度で存在する本製品の成分で、OSHAにより発がん性物質またはその可能性が指摘されているものはない。

生殖毒性データなし

データなし

特定標的臓器毒性-単回暴露

吸入 - 呼吸器への刺激のおそれ。

特定標的臓器毒性-反復暴露

吸入 - 長期または反復暴露により臓器に障害を引き起こすおそれ。- 肺

吸引性呼吸器有害性

データなし

追加情報

RTECSVV7328000

我々の知る限りでは、化学的、物理的、毒性学的特性はまだ十分に検討されていません。

徹底的に

調査されていません。

胃 - 異常 - ヒトの証拠に基づく

セクション 12.生態情報

12.1 毒性

データなし

12.2 残留性および分解性

データなし

12.3 生物蓄積性

データなし

12.4 土壌中での移動性

データなし

12.5 PBT および vPvB 評価結果

PBT/vPvB 評価は、化学的安全性評価が要求されていない/実施されていないため、入手できない。

12.6 その他の有害影響

データなし

セクション 13.廃棄に関する考慮事項

13.1 廃棄物の処理方法

製品

余剰および非リサイクル溶液を認可を受けた廃棄業者に提供する。認可を受けた

廃棄

廃棄物処理業者に依頼する。

汚染された包装

未使用の製品として廃棄する。

セクション 14.輸送情報

DOT (米国)

危険物ではない

IMDG

危険物ではない

IATA

危険物ではない

セクション 15.規制情報

SARA 302 成分

この材料に含まれる化学物質は SARA Title III, Section 302 の報告要件に該当しません。

SARA 313 成分

この材料には、CAS 番号が既知で、報告義務の閾値（De Minimis）を超える化学成分は含まれていません。

SARA Title III, Section 313により設定された閾値（De Minimis）報告レベルを超える既知のCAS番号の化学成分は含まれていません。

SARA 311/312 危険有害性

急性健康障害、慢性健康障害

マサチューセッツ州の知る権利 成分

シリカ、ガラス質

CAS 番号

60676-86-0

改訂日

1993-04-24

ペンシルバニア州の知る権利成分

シリカ、ガラス質

CAS 番号

60676-86-0

改訂日

1993-04-24

ニュージャージー州の知る権利成分

シリカ、ガラス質

CAS 番号

60676-86-0

改訂日

1993-04-24

カリフォルニア州プロップ 65 成分

警告この製品は、カリフォルニア州において癌を引き起こすことが知られている化学物質を含んでいます。

シリカ、ガラス質

CAS-No.

60676-86-0

改訂日

2007-09-28

セクション 16.その他の情報

規則 (EC) No. 1907/2006 (REACH) に基づく安全データシート。上記の情報は

上記の情報は正確であると考えられるが、すべてを網羅するものではなく、目安としてのみ使用すること。本書に記載されている情報は

本書に記載された情報は、当社の現在の知見に基づくものであり、適切な安全予防措置に関して本製品に適用されるものです。

本書に記載されている情報は、当社の現在の知見に基づくものであり、適切な安全予防措置に関して本製品に適用されるものです。を保証するものではありません。

製品の特性を保証するものではありません。