モリブデンロータリーターゲット
スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は 、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、光学コーティングなどの高度な薄膜蒸着用途向けに、高純度 モリブデンロータリーターゲットを提供しています。これらのターゲットは高純度モリブデンで製造され、優れた導電性、熱安定性、均一な膜形成を保証します。
回転式設計により、平面ターゲットと比較して材料利用率が大幅に向上し、耐用年数の延長と生産コストの削減を実現します。モリブデンの高い融点と優れた熱伝導性は、高温・高真空環境においても安定した性能を発揮し、要求の厳しいコーティングプロセスに最適です。
SAMは、様々なスパッタリングシステムのニーズに対応するため、様々なサイズと仕様の モリブデンロータリーターゲットを提供しています。精密な製造と厳格な品質管理により、SAMの ターゲットは一貫した信頼性の高い性能を発揮し、様々な産業における効率的でコスト効率の高い薄膜形成をサポートします。
モリブデンロータリーターゲット仕様
特性
密度
|
≥10.15g/cm3
|
平均粒径
|
≤100 um
|
粗さ
|
≤0.8 um
|
平坦度
|
≤0.30 mm
|
接合率
|
≥98%
|
化学組成%
主な内容
%, min
|
Mo
|
99.95
|
99.97
|
不純物含有率
(質量分率)、
最大
|
Al
|
0.0050
|
0.0010
|
Ca
|
0.0020
|
0.0020
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Cr
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0.0100
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0.0020
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銅
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0.0020
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0.0020
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鉄
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0.0050
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0.0020
|
K
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-
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0.0020
|
Mg
|
0.0020
|
0.0010
|
Na
|
-
|
0.0010
|
ニッケル
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0.0050
|
0.0010
|
Si
|
0.0050
|
0.0020
|
W
|
0.0300
|
0.0300
|
S
|
0.0050
|
-
|
Cd
|
0.0001
|
-
|
C
|
0.0100
|
0.0030
|
O
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0.0080
|
0.0040
|
N
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0.0030
|
0.0010
|
*上記の製品情報は理論値に基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
サイズ (mm)
ロータリー
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G6
|
φ135/167*2158
|
G8.5
|
φ135/167*2692
|
*特注サイズも承ります。詳細はお気軽にお問い合わせください。
モリブデン回転ターゲットの用途
- フラットパネルディスプレイ(TFT-LCD、OLED)薄膜トランジスタ(TFT)の製造に電極層として使用され、ディスプレイ性能のための高い導電性と安定性を確保します。
- 太陽電池(CIGSおよび薄膜太陽電池):銅インジウムガリウムセレン(CIGS)太陽電池のバックコンタクト層として、効率と耐久性を向上させる。
- 光学コーティング:高精度の光学機器や電子機器用の反射防止膜や導電膜に使用される。
- 半導体・マイクロエレクトロニクス半導体製造用のバリア層やインターコネクト層に使用され、高温安定性と信頼性を提供する。
- タッチパネルMoNbなどのモリブデン合金は、耐食性と性能を向上させるためにタッチパネルのセンサー電極に使用されています。
モリブデンロータリーターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
モリブデンロータリーターゲットに関するFAQ
Q1: ロータリーターゲットを使用する利点は何ですか?
A1: 回転式ターゲットは、平面式ターゲットと比較して材料利用率が高く(最大80%以上)、耐用年数が長いため、材料の無駄を削減し、生産コスト全体を削減することができます。
Q2: モリブデンロータリーターゲットはどのような産業でよく使用されていますか?
A2: フラットパネルディスプレイ(TFT-LCD、OLED)、太陽電池(CIGS薄膜太陽電池)、光学コーティング、半導体製造、タッチパネル技術などに広く使用されています。
Q3: モリブデン回転ターゲットはカスタマイズできますか?
A3: はい、さまざまなスパッタリングシステムやお客様の仕様に合わせて、サイズ、厚さ、接合オプションのカスタマイズが可能です。
競合製品との性能比較表
モリブデンロータリーターゲットとモリブデン平面ターゲットの比較
特徴
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モリブデンロータリーターゲット
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モリブデン平面ターゲット
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材料利用率
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最大80-90
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30-40%前後
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耐用年数
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長く、交換頻度を低減
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
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小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原材料-モリブデン
モリブデン(Mo)は、高融点、優れた熱伝導性と電気伝導性、優れた耐食性を持つ耐火性金属です。銀灰色の金属で、過酷な条件下での強度と安定性で知られ、様々な工業用途に不可欠です。
主な特性
原子番号:42
原子量: 95.95
密度:10.28 g/cm³
融点: 2,617°C (4,723°F)
沸点:4,639℃(8,382°F)
熱伝導率: 138 W/m-K
モリブデンの用途
エレクトロニクスと薄膜コーティング:TFT-LCDディスプレイ、ソーラーパネル、半導体部品のスパッタリングターゲットに使用される。
航空宇宙および高温環境:耐熱性があるため、航空機やロケット部品の高性能合金に使用される。
エネルギー産業:原子炉、発電、高温炉に不可欠。
鉄鋼および金属合金:ステンレス鋼や超合金の強度、硬度、耐食性を向上させる。
化学工業石油精製や化学処理において触媒として働く。
モリブデンは、高温安定性、耐久性、導電性を併せ持つユニークな材料であるため、特に先端製造業や技術用途において、さまざまな産業で貴重な材料となっている。
仕様
特性
密度
|
≥10.15g/cm3以上
|
平均粒径
|
≤100 um
|
粗さ
|
≤0.8 um
|
平坦度
|
≤0.30 mm
|
接合率
|
≥98%
|
化学組成%
主な内容
%, min
|
Mo
|
99.95
|
99.97
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不純物含有率
(質量分率)、
最大
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Al
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0.0050
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0.0010
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Ca
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0.0020
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0.0020
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Cr
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0.0100
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0.0020
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銅
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0.0020
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0.0020
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鉄
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0.0050
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0.0020
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K
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-
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0.0020
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Mg
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0.0020
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0.0010
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Na
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-
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0.0010
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ニッケル
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0.0050
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0.0010
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Si
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0.0050
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W
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0.0300
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0.0300
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S
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0.0050
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Cd
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0.0001
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C
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0.0100
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0.0030
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O
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0.0080
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0.0040
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N
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0.0030
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0.0010
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*上記の製品情報は理論値に基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
サイズ (mm)
ロータリー
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G6
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φ135/167*2158
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G8.5
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φ135/167*2692
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*特注サイズも承ります。詳細はお気軽にお問い合わせください。