イットリウムプラナーターゲットの説明
スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は 、高性能薄膜蒸着用に設計された高純度イットリウム(Y)プラナーターゲットを提供します。イットリウムは、1,522℃の高融点、優れた耐酸化性、優れた機械的強度を持つ希土類金属であり、要求の厳しいコーティング用途に理想的な材料です。イットリウムの主な利点の一つは、安定した酸化皮膜を形成する能力で、高温や反応性の環境下でも耐食性と耐久性を向上させる。さらに、イットリウムは強力な密着性と均一な成膜を提供し、欠陥の少ない高品質のコーティングを保証します。
SAMは、様々なスパッタリングシステムの要件を満たすために、様々な純度(99.999%まで)、サイズ、およびカスタム形状のイットリウムプレーナーターゲットを供給しています。当社の高度な製造プロセスにより、精密な組成制御、微細構造、最小限のコンタミネーションが保証され、スパッタリング効率と膜性能が最適化されます。特殊コーティングまたは機能性薄膜のいずれに使用されるかにかかわらず、SAMのイットリウムスパッタリングターゲットは、優れた熱安定性、耐薬品性、およびコーティングの均一性を提供し、最先端産業の信頼できる選択肢となっています。
イットリウム平板ターゲット仕様
純度
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99.9~99.99%, ≥99.99%
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理論密度
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4.47g/cm3
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融点
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1526 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。
イットリウムプラナーターゲットの用途
イットリウム平板スパッタリングターゲットは、その優れた耐酸化性、高温安定性、強力な接着特性のおかげで、高度な薄膜蒸着用途に広く使用されています。主な用途の一つは電子工学と半導体産業で、イットリウムは耐久性と性能を高めるためにマイクロエレクトロニクスデバイスの保護層と絶縁層として使用されている。光学コーティングでは、イットリウムはレンズ、ディスプレイ、レーザーシステム用の高透明、反射防止、保護膜の製造に使用される。さらに、イットリウムは超伝導薄膜、特にエネルギー効率の高い電気システムや高度な研究用途に不可欠なイットリウムバリウム銅酸化物(YBCO)超伝導体の開発において重要な役割を果たしている。
イットリウムスパッタリングターゲットのもう一つの重要な用途は航空宇宙産業とエネルギー産業で、極端な温度と酸化から部品を保護するための遮熱コーティングに使用されている。磁気ストレージやデータ記録の分野では、イットリウムベースの薄膜がハードドライブやメモリーデバイスの安定性と性能の向上に貢献している。さらに、イットリウムは半導体製造装置のプラズマ耐性コーティングに使用され、寿命と信頼性を高めている。イットリウム製プレーナースパッタリングターゲットは、その汎用性と高性能特性により、耐久性と高品質の薄膜を必要とする最先端産業にとって不可欠なものである。
イットリウムプレーナターゲット包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木箱に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
イットリウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: 薄膜コーティングにイットリウムを使用する利点は何ですか?
A1: イットリウムは、優れた耐酸化性、高い熱安定性、強い密着性、均一な成膜を提供し、エレクトロニクス、光学、超伝導体などの用途に最適です。
Q2: イットリウム平板ターゲットはサイズや形状をカスタマイズできますか?
A2: はい、特定のスパッタリングシステムの要件を満たすために、カスタマイズされた寸法、形状、接合オプションを提供しています。
Q3: イットリウムのスパッタリングターゲットはどのように保管、取り扱えばよいですか?
A3: イットリウムは酸化に弱いので、乾燥した清潔な環境で保管し、汚染や損傷を防ぐために注意して取り扱う必要があります。
競合製品との性能比較表
イットリウム回転ターゲットとイットリウム平面ターゲットの比較
特徴
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イットリウムロータリーターゲット
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イットリウム平面ターゲット
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材料利用
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最大80-90
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約30-40
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耐用年数
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長く、交換頻度を低減
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
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小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原材料-モリブデン
イットリウム(Y)は、原子番号39、原子量88.91の希土類金属である。銀白色で延性があり、比較的安定した金属で、保護酸化物層が形成されるため空気中でも変色しにくい。イットリウムの融点は1,522℃と高く、優れた熱的・電気的特性を持つため、先端材料用途で非常に重宝されている。
イットリウムは希土類元素に分類されるが、地殻中に比較的豊富に存在し、ゼノタイム、モナザイト、バストナイトなどの鉱物によく含まれる。そのユニークな化学的・物理的特性は、エレクトロニクス、超伝導体、光学コーティング、高温構造材料に不可欠である。イットリウムは、イットリウムバリウム銅酸化物(YBCO)超電導体、LEDやCRTディスプレイ用蛍光体、航空宇宙用途の特殊合金の製造に広く使用されている。
その卓越した耐酸化性、安定性、材料特性を向上させる能力により、イットリウムは現代の技術と科学研究において重要な要素であり続けている。
仕様
純度
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99.9~99.99%, ≥99.99%
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理論密度
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4.47g/cm3
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融点
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1526 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。