エルビウムプラナーターゲットの説明
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は 、99.9%から99.99%(3N-4N)の純度のエルビウム金属から 製造されたエルビウム・プラナー・ターゲットを 提供しており、高性能薄膜アプリケーション用に調整されています。標準直径は50mm~200mm、厚さは3~10mmで、高出力スパッタリングシステムでの熱安定性を高めるため、ボンディング構成(CuまたはMoバッキングプレートなど)にカスタマイズすることも可能です。微細構造は、50 µm未満の微細粒径と理論値の95%を超える密度で設計されており、パーティクルの発生を最小限に抑え、一貫した膜の均一性を保証します。酸化を軽減するため、各ターゲットは乾燥剤とともにアルゴン充填包装に真空封入され、保管・輸送中も表面の完全性を保ちます。品質保証プロトコルには、ICP-MS不純物分析、XRD結晶学的検証、表面粗さ測定(<0.5 µm Ra)が含まれ、ASTM F3091およびISO 9001規格に準拠しています。SAMは、スパッタリングパラメータ(RF出力の最適化、Arガス圧の範囲など)に関する技術ガイダンスでお客様をサポートし、標準仕様の場合、全世界で3~4週間以内に注文をお届けします。
エルビウム平面ターゲット仕様
特性
純度
|
99.9%
|
理論密度
|
8.795g/cm3
|
融点
|
1522.0 ℃
|
沸点
|
2510.0 ℃
|
製品形状
|
長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
|
製品サイズ
|
カスタマイズ
|
*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、弊社までお問い合わせください。
エルビウムプラナーターゲットの用途
1.ファイバーオプティクス&テレコミュニケーション光ファイバー通信システムの光増幅器(EDFA)用エルビウム添加膜。
2.赤外線レーザーシステム:医療用皮膚科学、歯科学、精密材料加工用のEr:YAGレーザー(波長2.94μm)。
3.原子力工学:原子炉制御棒や放射線遮蔽に使用されるエルビウム166同位体を用いた中性子吸収コーティング。
4.医療・バイオメディカル機器:バイオセンサーやラジオアイソトープ治療(骨癌の疼痛緩和のためのEr-169など)用のエルビウムベースの薄膜。
5.量子研究:量子メモリやフォトニック量子コンピューティング応用のためのEr³⁺ドープ結晶。
エルビウム平面ターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されます。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
エルビウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: どのような純度グレードがありますか?
A1: SAMは99.9% (3N)の純度を提供しています。
Q2: 標準以外のターゲット形状を要求できますか?
A2: はい。特注の直径、厚さ、接着構成(例:Agバッキングプレート)にも対応しています。
Q3: 使用中のエルビウムの酸化を防ぐには?
A3: 乾燥したアルゴン環境でターゲットを保管し、スパッタリング前に表面クリーニングを行ってください。
競合製品との性能比較表
エルビウムロータリーターゲットとエルビウムプレーナターゲットの比較
特徴
|
エルビウムロータリーターゲット
|
エルビウム平面ターゲット
|
材料利用率
|
最大80-90
|
約30-40
|
耐用年数
|
長く、交換頻度を低減
|
より短く、より頻繁な交換が必要
|
コーティングの均一性
|
均一性が高く、大面積コーティングに最適
|
厚みにばらつきがある場合がある
|
製造コスト
|
初期コストは高いが、長期的には経済的
|
イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
|
用途
|
大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
|
小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
|
スパッタリング安定性
|
安定性が高く、材料ロスが少ない
|
浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
|
対応装置
|
回転式スパッタリング装置が必要
|
従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
|
関連情報
- 原材料-エルビウム
原子番号: 68|原子量: 167.26 g/mol|シリーズ:ランタノイド
物理的性質:銀白色の金属、密度9.07 g/cm³、融点1529℃、常磁性。
化学的性質:安定した酸化物(Er₂O₃)を形成、水とゆっくり反応、酸に溶ける。
主な用途
光学:通信用エルビウム添加ファイバー増幅器(EDFA)。
医療用: Er:YAGレーザーによる皮膚のリサーフェイシング、緩和的放射線治療におけるEr-169。
原子力: 中性子吸収用Er-166同位体。
仕様
プロパティ
純度
|
99.9%
|
理論密度
|
8.795g/cm3
|
融点
|
1522.0 ℃
|
沸点
|
2510.0 ℃
|
製品形状
|
長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
|
製品サイズ
|
カスタマイズ
|
*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。