ルテチウム平面ターゲットの説明
SAMのルテチウムプラナーターゲットは、99.9%から99.99% (3N-4N)の純度のルテチウム金属から製造され、直径(50-200 mm)と厚さ(3-10 mm)で入手可能です。カスタムボンディング(例:Cuバッキングプレート)と細粒構造(<50 µm)により、均一なスパッタリングと熱安定性を保証します。酸化を防ぐためにアルゴン充填容器に真空封入された各ターゲットは、ASTM F3091に準拠したXRD結晶学とICP-MS不純物分析を受けます。技術サポートには、スパッタリングパラメーターガイダンス(DCパワー範囲など)および迅速な納品(3~4週間)が含まれます。
ルテチウム平面ターゲット仕様
特性
純度
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99.9%
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理論密度
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9.8404g/cm3
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融点
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1663 ℃
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沸点
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3395 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。
ルテチウム平板ターゲットの用途
1.メディカルイメージング:標的がん放射線治療用Lu-177アイソトープフィルム。
2.触媒作用:石油精製および化学合成用のLuドープコーティング。
3.シンチレータ:PETスキャナーや放射線検出器におけるLuベースのフィルム。
4.エレクトロニクス半導体デバイス用高誘電体層
ルテチウム平面ターゲット包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
ルテチウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: ルテチウムターゲットにはどのような純度グレードがありますか?
A1: SAMは99.9% (3N)0純度グレードを提供しており、微量不純物データは分析証明書(CoA)に記載されています。
Q2: カスタムターゲットの寸法やボンディング構成を要求できますか?
A2: はい。特注の直径(50~200mm)、厚さ(3~10mm)、およびボンディングされたバッキング(例:Cu、Mo)がサポートされています。ラピッドプロトタイピングの仕様を提出してください。
Q3: 保管中や輸送中の酸化はどのように防止されていますか?
A3: ターゲットは、乾燥剤パックを入れたアルゴン充填容器に真空封入されます。納品後は乾燥不活性ガス(Ar/N₂)での保管を推奨します。
競合製品との性能比較表
ルテチウムロータリーターゲットとルテチウムプレーナターゲットの比較
特徴
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ルテチウムロータリーターゲット
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ルテチウム平面ターゲット
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材料利用率
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最大80-90
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約30-40
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耐用年数
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長く、交換頻度を低減
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
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小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原料-ルテチウム
原子番号:71|融点:1663℃|密度:9.84g/cm³.
主な用途がん治療、触媒作用、エレクトロニクス
おもしろい事実:ルテチウムは最も重く、最も硬い希土類金属である。
仕様
プロパティ
純度
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99.9%
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理論密度
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9.8404g/cm3
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融点
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1663 ℃
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沸点
|
3395 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。