スカンジウム平面ターゲットの説明
SAMのスカンジウムターゲットは 、純度99.9%のスカンジウム金属から作られており、直径（50-200 mm）および厚さ（3-10 mm）で入手可能です。粒径50 µm以下、密度95%以上で設計されており、均一なスパッタリングで高品質な膜を実現します。アルゴン充填の真空密閉容器に梱包された各ターゲットは、ICP-MSおよびXRDによりASTM F3091に適合していることが確認されています。
スカンジウム平面ターゲット仕様
特性
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純度
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99.9%
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融点
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1814 ℃
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沸点
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3103 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、弊社までお問い合わせください。
スカンジウム平板ターゲット用途
1.航空宇宙合金軽量、高強度部品用Scドープアルミニウム膜。
2.固体酸化物燃料電池（SOFC）：Sc安定化ジルコニア電解質コーティング。
3.レーザーと照明：高輝度ランプおよびUVレーザーにおけるScベースのフィルム。
4.半導体：高電子移動度トランジスタ（HEMT）用ScN層。
スカンジウム平板ターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。
梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ
2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
スカンジウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: スカンジウムターゲットにはどのような純度グレードがありますか？
A1: SAMは、不純物レベル<100 ppmの99.9%(3N)純度のスカンジウムを供給しています(ICP-MSで証明)。
Q2: スカンジウムターゲットは、劣化を防ぐためにどのように保管すべきですか？
A2: 酸化を最小限に抑えるため、乾燥したアルゴン環境で保管してください。汚染を避けるために手袋を着用してください。
Q3: スカンジウムターゲットはマグネトロンスパッタリングシステムと互換性がありますか？
A3: はい。SAMターゲットはISO/KFフランジ用に設計されており、ほとんどのマグネトロンシステムと互換性があります。アダプターソリューションもあります。
競合製品との性能比較表
スカンジウムロータリーターゲットとスカンジウムプレーナターゲットの比較
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特徴
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スカンジウムロータリーターゲット
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スカンジウム平面ターゲット
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材料利用率
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最大80-90
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約30-40
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耐用年数
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長く、交換頻度を低減
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング（TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング）
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小面積コーティング（半導体、精密電子機器）
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原料-スカンジウム
原子番号：21｜融点：1541℃｜密度：2.99g/cm³.
主な用途航空宇宙合金、燃料電池、照明。
豆知識： スカンジウムはアルミニウムより軽いが、合金にすると大幅に強化される。
仕様
プロパティ
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純度
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99.9%
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融点
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1814 ℃
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沸点
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3103 ℃
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。
