ST6573 ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）の説明

ニッケル銅チタン（NiCuTi）スパッタリングターゲットは、真空アーク溶解と熱間静水圧プレス（HIP）により製造される精密加工合金で、以下の特長があります：

相乗合金特性ニッケル（融点：1455℃）は熱安定性と耐食性を確保し、銅（熱伝導率：401W/m・K）は電気伝導性と放熱性を高め、チタン（密度：4.51g/cm³）は軽量でありながら強力な機械的特性を提供します。この組み合わせにより、高硬度（ビッカース硬度200HV以上）、低抵抗率（10μΩ・cm以下）、耐疲労性を実現しています。

高純度と均一性：ターゲットの純度は99.95%以上で、微量不純物（Fe、C、O）は50ppm以下に管理されています。高度な処理により、微細粒度（≤15 µm）、低気孔率（<0.2%）、表面粗さ（CMP研磨後のRa <0.8 µm）を実現し、安定したスパッタリング性能を実現。

極限環境での耐久性：チタンのネイティブ酸化物(TiO₂)とニッケルのパッシベーション層により、高温(≤800℃)、酸性、または湿度の高い環境下での安定性を実現し、長期のハイパワースパッタリングに最適。

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）仕様

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

外形寸法

*図面によりカスタマイズ

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）用途

• 半導体、エレクトロニクス銅の導電性とチタンの密着性を活かし、高導電性配線や拡散バリア層（DRAM、ロジックチップなど）を成膜。
• 光学とディスプレイ透明導電性酸化物(TCO)の基材。銅の導電性とチタンの耐酸化性で ITO フィルムの性能を最適化。
• 航空宇宙用コーティングチタンの軽量特性とニッケルの高温耐性を組み合わせたエンジン部品の保護コーティング。
• バイオメディカルインプラントチタンの生体適合性とニッケル銅の抗菌性を利用した整形外科/歯科インプラント用の機能性コーティング。
• 工業用耐摩耗工具切削工具や金型用の耐久性のあるコーティングで、高硬度合金の析出により寿命を延ばします。

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）に関するFAQ

Q1: ニッケル銅チタンターゲットとは何ですか？

A1: ニッケル銅チタンターゲットは、ニッケル、銅、チタン合金の薄膜を作成するスパッタリング蒸着プロセスで使用される複合ターゲットです。このターゲットは、エレクトロニクス、自動車、コーティングなど、性能向上のために特定の合金組成が要求される様々な産業で一般的に使用されています。

Q2: ニッケル銅チタンターゲットの主な特性は何ですか？

A2: ニッケル銅チタンターゲットは、ニッケル、銅、チタンの強度、耐食性、熱安定性を兼ね備えており、特定の電気的、機械的、熱的特性を持つ耐久性のある高性能薄膜の製造に最適です。

Q3: ニッケル銅チタンターゲットの主な用途は何ですか？

A3: ニッケル銅チタンターゲットは、エレクトロニクス、触媒製造、センサー、自動車部品用コーティング、航空宇宙部品に広く使用されており、そのユニークな合金の組み合わせにより、要求の厳しい用途において導電性、耐摩耗性、耐久性が向上します。

競合製品との性能比較表

ニッケル銅チタンターゲット（NiCuTiターゲット）と競合材料との比較：性能比較

関連情報

1. 原材料-ニッケル

基本特性

原子番号：28

原子量： 58.69 g/mol

密度： 8.908 g/cm³

融点：1455

特徴銀白色、強磁性（室温）、可鍛性、延性、耐食性。標準的な条件下では空気中で安定。

酸化状態：主に+2、たまに+1、+3、+4。

化学的性質

耐食性：湿った空気中で保護酸化物層（NiO）を形成する。酸やアルカリには中程度の耐性がある（濃硝酸で不動態化）。

合金化能力：鉄、銅、クロムとの合金を形成しやすい（ステンレス鋼、ニチノールなど）。

触媒活性：水素添加反応（植物油の硬化など）に広く使用される。

用途

ステンレス鋼の製造（世界のニッケル消費量の70%以上を占める）：耐食性と機械的強度を高める。

電池材料：ニッケル水素（NiMH）およびリチウムイオン電池の主要成分（NMC正極など）。

電気めっき：腐食保護と装飾仕上げのためのニッケルめっき。

高温合金：耐熱性のためにジェットエンジン、ガスタービン、原子炉に使用される。

触媒：石油化学精製における工業用水素化脱硫プロセス。

資源と生産

主な埋蔵量インドネシア（世界最大の埋蔵量）、フィリピン、ロシア。

採掘形態：硫化鉱（ペントランダイトなど）およびラテライト（酸化鉱）。

環境問題：ニッケル製錬は硫黄酸化物（SOx）と重金属汚染物質を排出する。

2. 原材料- 銅

原子特性：原子番号29、原子量63.55、第11族遷移金属、電子配置[Ar] 3d¹⁰ 4s¹。

物理的性質：

電気伝導率：室温で～5.96×10⁷S/m、銀に次いで高く、配線や半導体の相互接続に不可欠。

熱伝導率：401W/(m・K) ヒートシンクや熱管理システムに最適。

延性：極細ワイヤー（直径0.01mm以下）への伸線、または薄い箔（厚さ0.1mm以下）への圧延が可能。

密度: 8.96 g/cm³、鋼鉄より軽いがアルミニウムより重い。

化学的性質

酸化：湿度の高い空気中では緑色のパティナ（塩基性炭酸銅）を形成するため、保護コーティング（ニッケルめっきなど）が必要。

耐食性：非酸化性の酸（HClなど）には耐えるが、硝酸には溶ける。

主な用途

電子機器：プリント回路基板（PCB）、集積回路相互接続。

工業用熱交換器、配管システム

合金黄銅(Cu-Zn)、青銅(Cu-Sn)、ベリリウム銅(高強度バネ)

3. 原材料-チタン

原子特性：原子番号22、原子量47.87、第4族遷移金属、電子配置[Ar] 3d² 4s²。

物理的性質

強度重量比：密度4.51g/cm³、引張強度900MPa（純Ti）、航空宇宙材料の金字塔。

高温耐性：融点1668℃、600℃でも強度を維持（アルミニウム合金は200℃）。

低熱膨張：係数8.6 µm/(m・K)で、熱変形を最小限に抑える。

化学的特性

不動態化：二酸化チタン（TiO₂）保護層を形成し、酸、アルカリ、海水に耐える。

生体適合性：無毒性で低アレルギー性、医療用インプラントに最適。

主な用途

航空宇宙ジェットエンジンブレード、機体部品

医療整形外科用インプラント（人工関節）、歯科用器具

化学工業耐食リアクター、海水淡水化装置

合金チタン-6アルミニウム-4バナジウム (Ti-6Al-4V、チタン合金使用量の50%以上)。