生産中止 (生産中止) ST6575 ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）の説明

ニッケルクロム鉄（NiCrFe）ターゲットは、卓越した熱安定性、耐酸化性、機械的耐久性で知られる堅牢な合金スパッタリング材料です。ニッケル、クロム、鉄の組み合わせは、高温劣化や腐食に耐える化学的に安定した構造を作り出し、要求の厳しい成膜環境に理想的です。ニッケルは構造的完全性と延性を高め、クロムは強い耐酸化性と耐食性を提供し、鉄は全体的な機械的強度と磁気特性に寄与する。この合金は、スパッタリング中に優れた密着性と均一性を維持し、その熱膨張特性は幅広い基板に適合する。NiCrFeターゲットは、熱サイクル、過酷な雰囲気、または機械的応力下での性能を必要とする用途において、耐久性のある安定した薄膜の製造に適している。

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）仕様

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズ

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）用途

• マイクロエレクトロニクス、半導体デバイス熱的、化学的安定性が要求されるバリア層、接着層、抵抗膜などに使用されます。
• 薄膜抵抗器：NiCrFeは、その安定した抵抗率と最小の抵抗温度係数（TCR）により、薄膜抵抗器の製造に広く使用されている。
• 航空宇宙および自動車用コーティング：エンジン部品や熱サイクルにさらされるセンサーコーティングなど、高温で腐食性の高い環境に適しています。
• 発熱体およびセンサーその電気抵抗率と耐酸化性により、精密発熱体、温度センサー、熱電対のスパッタ膜に利用されている。
• 保護および機能性コーティング：工業用工具や原子炉部品など、耐酸化性、耐摩耗性、耐腐食性が要求される部品に使用される。
• 磁気および電磁シールド：NiCrFe皮膜は、鉄の存在によって磁気特性を発揮することができるため、特定の磁気用途やシールド用途に有用である。

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）の包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPPボックスでしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木枠に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）に関するFAQ

Q1: ターゲットの形状やサイズをカスタマイズできますか？

A1: はい、特定のスパッタリングシステム要件に対応するため、様々な直径、厚さ、形状の完全カスタマイズ可能な平面ターゲットを提供しています。

Q2: NiCrFeターゲットの主な性能上の利点は何ですか？

A2: NiCrFeターゲットは、優れた熱的・化学的安定性、高い機械的強度、信頼性の高い抵抗率制御を提供し、薄膜抵抗器の製造や過酷な環境でのコーティングに最適です。

Q3: このターゲットはDCスパッタリングとRFスパッタリングの両方に適していますか？

A3: はい、NiCrFeターゲットは、成膜要件と成膜セットアップに応じて、DCスパッタリングシステムとRFスパッタリングシステムの両方で使用できます。

競合製品との性能比較表

ニッケルクロム鉄ターゲット（NiCrFeターゲット）と競合材料との比較：性能比較

関連情報

1. 原材料-ニッケル

基本的性質

原子番号: 28

原子量： 58.69 g/mol

密度： 8.908 g/cm³

融点：1455

特徴銀白色、強磁性（室温）、可鍛性、延性、耐食性。標準的な条件下では空気中で安定。

酸化状態：主に+2、たまに+1、+3、+4。

化学的性質

耐食性：湿った空気中で保護酸化物層（NiO）を形成する。酸やアルカリには中程度の耐性がある（濃硝酸で不動態化）。

合金化能力：鉄、銅、クロムとの合金を形成しやすい（ステンレス鋼、ニチノールなど）。

触媒活性：水素添加反応（植物油の硬化など）に広く使用される。

用途

ステンレス鋼の製造（世界のニッケル消費量の70%以上を占める）：耐食性と機械的強度を高める。

電池材料：ニッケル水素（NiMH）およびリチウムイオン電池の主要成分（NMC正極など）。

電気めっき：腐食保護と装飾仕上げのためのニッケルめっき。

高温合金：耐熱性のためにジェットエンジン、ガスタービン、原子炉に使用される。

触媒：石油化学精製における工業用水素化脱硫プロセス。

資源と生産

主な埋蔵量インドネシア（世界最大の埋蔵量）、フィリピン、ロシア。

採掘形態：硫化鉱（ペントランダイトなど）およびラテライト（酸化鉱）。

環境問題：ニッケル製錬は硫黄酸化物（SOx）と重金属汚染物質を排出する。

2. 原材料-クロム

物理的性質

- 密度：～7.19 g/cm³

- 融点： 1907°C

- 沸点：2671

- 硬度非常に高く、最も硬い金属のひとつ（モース硬度≈8.5）

- 外観銀色で光沢があり、変色しにくい。

化学的性質

- クロムは、表面に形成される薄く安定した酸化物層（Cr₂O₃）のおかげで酸化に対して非常に耐性があり、耐食性用途に理想的である。

- 主に+3と+6の複数の酸化状態を示し、Cr(III)は安定、Cr(VI)は反応性が高く有毒である。

- 強酸や酸化剤と反応するが、常温では空気や水分による攻撃に抵抗する。

工業的意義

- ステンレス鋼製造：耐食性を高めるため、ステンレス鋼や超合金の合金元素として広く使用される。

- 電気めっき：クロムめっきは、金属に硬い鏡のような保護仕上げを与える。

- 顔料：クロム化合物、特に6価クロムは、塗料やセラミックの顔料に使用される（クロムイエロー、クロムグリーンなど）。

- スパッタリングターゲットおよび薄膜：純クロムおよびクロムを主成分とする合金は、PVDコーティング、エレクトロニクス、表面保護などに広く使用されている。

環境と健康への配慮

- クロム（III）は、グルコース代謝に関与する、人間にとって不可欠な微量元素である。

- しかし、6価クロムは有毒で発がん性があるため、取り扱いと廃棄は厳格な安全規制に従わなければならない。

3. 原料-鉄

物理的性質

- 密度：～7.87 g/cm³

- 融点：1538

- 沸点：2862

- 磁性室温で強磁性（～770℃、キュリー点まで）

- 外観切りたては光沢のある銀灰色だが、空気中で容易に酸化する。

化学的性質

- 鉄は、特に湿った空気中でFe₂O₃（錆）やFe₃O₄な どの酸化物を容易に形成する。

- 鉄は、一般に+2および+3の酸化状態の化合物（Fe²⁺、Fe³⁺）で存在する。

- 希酸に反応して水素ガスを発生する。

- 反応性ではあるが、環境によっては不動態層を形成し、さらなる腐食から保護することができる。

工業的重要性

- 鉄鋼生産：鉄は製鉄の主成分であり、炭素や他の元素と合金化され、多種多様な構造材料となる。

- 磁性材料：その磁気特性により、変圧器、モーター、データ・ストレージに使用される。

- エレクトロニクスと薄膜：鉄およびその合金（NiFe、FeCrなど）は、磁気および構造用途のスパッタリング・ターゲットやコーティングに使用される。

- 触媒：アンモニア合成のためのハーバー・ボッシュ・プロセスなどの化学プロセスで使用される。

生物学的役割

- 鉄は生命にとって不可欠な元素であり、酸素運搬（ヘモグロビン）、酵素機能、細胞代謝において中心的な役割を果たしている。

安全性と取り扱い

- バルクの金属鉄は一般的に安全で毒性はないが、微粉末は引火性があるため、管理された環境で取り扱う必要がある。