Снято с производства (生産中止) ST6578 コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）

コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）の説明

コバルトクロムタングステンターゲット(CoCrWターゲット)は、優れた機械的強度、熱安定性、優れた耐腐食性と耐摩耗性を特徴とする緻密で高性能な合金スパッタリング材料です。コバルトマトリックスは強固で強靭な基盤を提供し、合金の延性と高温耐久性に寄与する。クロムは、安定した酸化層を形成することで表面不動態化能力を高め、過酷な化学環境や酸化から材料を保護します。タングステンは、その高い融点と卓越した硬度でターゲットの構造的完全性を強化し、極度の熱応力や機械的応力の下でも劣化することなく性能を発揮できるようにします。これらの元素の組み合わせは、安定した均質で微細な粒状組織をもたらし、多くの場合、真空アーク溶解や熱間静水圧プレスなどの高度な加工技術によって達成されます。この合金は高い融点範囲、低い気孔率、バランスのとれた熱膨張率を示し、要求の厳しい薄膜形成プロセスに適している。その電気伝導性は中程度で、一貫したスパッタリング挙動をサポートする一方、その堅牢な性質は、長時間のスパッタリングサイクルにおける寸法安定性とターゲットの寿命を保証します。

コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）仕様

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）用途

• 航空宇宙およびタービン部品：CoCrW薄膜は、ジェットエンジン部品、タービンブレード、燃焼室部品のコーティングに使用され、高温酸化、熱疲労、浸食に対して優れた耐性を発揮します。
• 生体医療機器：コバルトとクロムの生体適合性とタングステンの耐摩耗性により、CoCrWコーティングは整形外科や歯科のインプラントに適用され、表面の耐久性を向上させ、体内での摩耗粉の発生を抑えています。
• 工業用工具および切削装置：ターゲットは、切削工具、成形金型、摩耗部品への硬質コーティングの成膜に使用されます。これらのコーティングは、硬度を高め、摩擦を低減し、高温変形に耐えることにより、工具の寿命を延ばす。
• 化学処理装置：腐食性の化学環境では、CoCrW皮膜は反応器、バルブ、ポンプ部品の保護バリアとして機能し、特に高温での酸やアルカリの攻撃から機器を保護する。
• エレクトロニクスとMEMS：微小電気機械システム(MEMS)および先端エレクトロニクスにおいて、CoCrWコーティングは機械的強度、寸法安定性、耐酸化性を提供し、長持ちするマイクロスケール構造を可能にする。

コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）の包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木枠に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

コバルトクロムタングステンターゲット（CoCrWターゲット）に関するFAQ

Q1: CoCrWターゲットの密度と純度を教えてください。

A1: 当社のCoCrWターゲットは、99%以上の密度と99.9%以上の高純度で製造されており、均一なスパッタリング速度と一貫した薄膜品質を保証します。

Q2: CoCrWターゲットはRFスパッタリングシステムとDCスパッタリングシステムの両方で使用できますか？

A2: はい、CoCrWターゲットは、蒸着セットアップと薄膜要件に応じて、RFおよびDCマグネトロンスパッタリングシステムの両方で使用できます。

Q3: 異なるサイズや形状はありますか？

A3: はい。当社では、平面型や回転型など、様々な寸法のCoCrWターゲットを提供しており、直径、厚さ、接合オプションはカスタマイズ可能です。

競合製品との性能比較表

CoCrMoターゲット対チタンターゲット対CoCrWターゲット

関連情報

1. 原料-コバルト

物理的性質

- 密度: ~8.90 g/cm³

- 融点：1495

- 沸点：2927

- 磁性1115℃（キュリー温度）まで強磁性で、磁性材料に適している。

- 外観わずかに青みを帯びた明るい銀灰色。

化学的性質

- コバルトは酸化されにくく、不動態酸化物層の形成により空気中で安定性を保つ。

- コバルトは、一般に化合物（Co²⁺とCo³⁺）中で+2と+3の酸化状態を示し、多種多様な酸化物、塩化物、硫酸塩を形成する。

- コバルト化合物は一般的に強く着色する（例えば、CoAl₂O₄からのコバルトブルー）。

工業的役割

- 超合金：コバルトは、タービンブレードや航空宇宙部品の高温強度と耐酸化性を向上させるために広く使用されている。

- 磁性材料：AlNiCo、サマリウムコバルト、その他の永久磁石の主要成分として、コバルトは電子機器や電気モーターで重要な役割を果たしています。

- 電池：コバルトは、その優れた電気化学的性能により、リチウムイオン電池の正極（LiCoO₂など）に使用されています。

- スパッタリングターゲットと薄膜：コバルトとその合金は、磁性、耐摩耗性、耐腐食性コーティング用の薄膜蒸着に使用される。

その他の特徴

- 機械的強度: 室温でも高温でも高い強度と延性を示す。

- 耐食性：酸と水分に強い耐性があり、化学的に厳しい環境で使用される。

- 生物学的役割ビタミンB₁₂（コバラミン）に含まれ、ヒトの栄養補給に不可欠な微量元素。

2. 原料-クロム

物理的性質

- 密度：～7.19g/cm3

- 融点：1907

- 沸点：2671

- 硬度クロムは最も硬い金属元素の一つであり（モース硬度～8.5）、優れた耐摩耗性を持つ。

- 外観銀灰色で脆く、光沢と反射率が高い。

化学的性質

- クロムは、安定した不動態酸化物層（Cr₂O₃）を形成し、下地金属を腐食から保護する能力があるため、酸化や変色に非常に強い。

- 一般に+3と+6の酸化状態を示す。Cr³⁺はより安定で毒性が低く、Cr⁶は酸化力が強いが環境的に有害です。

- クロム化合物は鮮やかな色（クロムグリーン、クロムイエローなど）で知られ、顔料や染料に広く使われています。

工業用途

- ステンレス鋼および合金：クロムはステンレス鋼の主要元素であり、耐食性および耐酸化性を高めるため、通常10.5%以上の濃度で添加される。

- 保護コーティング：その硬度と光沢仕上げにより、工具、自動車部品、電子機器などのクロムめっきや物理蒸着（PVD）コーティングに使用される。

- スパッタリングターゲットと薄膜：クロムターゲットは、半導体、ディスプレイ、光学機器の硬質、導電性、耐食性コーティングの製造に使用される。

- 耐火材料：クロムは融点が高いため、高温セラミックやレンガの製造に使用される。

その他の特性

- 電気抵抗率：中程度（～12.9μΩ・cm）で、制御された導電層に適している。

- 毒性：金属クロムやCr³⁺化合物は一般的に安全と考えられているが、Cr⁶⁺化合物は毒性があり、規制されている。

- 環境安定性：クロムは、多くの過酷な化学環境でも劣化しにくい安定した化合物を形成します。

3. 原材料- タングステン

タングステン(W)は、非常に高い融点、機械的強度、耐熱性、耐薬品性で知られる耐火性金属です。原子番号は74で、周期表の遷移金属グループに属しています。タングステンの融点は3422℃と金属中で最も高く、沸点も5555℃と非常に高いため、極端な高温での使用に適しています。密度が高く（19.25g/cm³）、硬く、優れた熱伝導性と電気伝導性を示します。化学的には、タングステンは比較的不活性であり、室温で酸化に抵抗し、腐食性環境の広い範囲で安定性を維持します。高温での強度と低い蒸気圧は、航空宇宙、エレクトロニクス、高性能合金などの用途に不可欠です。薄膜やスパッタリングターゲットの用途では、タングステンは膜の硬度、熱安定性、耐摩耗性に貢献します。