ST6582 バナジウム・タンタル・タングステンターゲット（VTaWターゲット）

バナジウムタンタルタングステンターゲット（VTaWターゲット）の説明

バナジウム・タンタル・タングステンターゲット（VTaWターゲット）は、優れた熱安定性、高融点、卓越した機械的強度を特徴とする高性能耐火合金スパッタリング材料です。バナジウム、タンタル、タングステンから成るこのターゲットは、バナジウムの延性と耐食性、タンタルの化学的不活性と高温復元力、タングステンの極めて高い硬度と密度を兼ね備えています。その結果、合金は微細で均質な微細構造を示し、安定したスパッタリング挙動と均一な成膜を保証する。高温での蒸気圧が低いため、ハイパワースパッタリングシステムでの信頼性の高い操作が可能であり、酸化や過酷な環境に対する優れた耐性により、過酷な処理条件での使用に適している。この材料は組成が調整されているため、熱膨張が抑制され、熱サイクル下での構造劣化が最小限に抑えられ、長時間の成膜でも安定したターゲットの寿命と膜質の維持に貢献します。

バナジウムタンタルタングステンターゲット（VTaWターゲット）仕様

特性

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

バナジウムタンタルタングステンターゲット（VTaWターゲット）の用途

• 半導体デバイス高温に耐え、層間汚染を防ぐ能力があるため、拡散バリア層や電極層に利用される。
• 微小電気機械システム（MEMS）: 薄膜の耐久性、耐熱性、精密な蒸着特性が要求されるMEMS製造に応用される。
• ハードコーティングと保護層：耐摩耗性と靭性により、切削工具、航空宇宙部品、産業機械の超耐久性コーティングの製造に最適。
• 航空宇宙および防衛技術：耐熱衝撃性が重要なエンジンや推進システムの遮熱コーティングや高応力部品に使用される。
• エネルギー・パワーデバイス腐食性または高放射線環境下での安定性から、先端電池、燃料電池、原子力材料用の薄膜に使用される。

バナジウムタンタルタングステンターゲット（VTaWターゲット）の包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

バナジウム・タンタルタングステンターゲット（VTaWターゲット）に関するFAQ

Q1: ターゲット材料の純度はどのくらいですか？

A1: スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズが提供する標準的なVTaWターゲットの純度は99.9%以上で、高い膜質とスパッタリングの一貫性を保証します。

Q2: どのような形状やサイズがありますか？

A2: VTaWターゲットは平面型と回転型があり、様々なスパッタリングシステムに適合するよう、直径、厚さ、バッキングプレートの構成をカスタマイズできます。

Q3: このターゲットはDCスパッタリングとRFスパッタリングの両方に対応していますか？

A3: はい、VTaWターゲットは、構成と希望する膜特性に応じて、DCスパッタリングシステムとRFスパッタリングシステムの両方に対応しています。

競合製品との性能比較表

VTaWターゲット vs タンタルターゲット vs タングステンターゲット

関連情報

1. 原材料-バナジウム（V）

バナジウムは原子番号23の遷移金属で、優れた強度重量比、耐食性、他の様々な元素と安定した化合物を形成する能力で知られている。融点は1910℃で、合金の靭性と耐疲労性を高めるためによく使われる。薄く安定した酸化物層を形成するバナジウムの能力は、高温で化学的に侵食性の高い環境で有用である。軽量で機械的安定性に優れているため、高性能合金システムの理想的な構成要素となっている。

2. 原材料- タンタル (Ta)

タンタルは原子番号73、3017℃という非常に高い融点を持つ高密度で耐食性の耐火性金属です。化学的に不活性で、特に酸に対して不活性で、保護酸化物層を形成し、その卓越した耐食性に寄与しています。タンタルは非常に延性があり、生体適合性があり、高温でも強度を維持するため、電子機器、航空宇宙、医療用途で重宝されている。また、優れた静電容量特性により、コンデンサー製造の主要材料となっている。

3. 原材料- タングステン（W）

原子番号74のタングステンは、最も重く、最も耐熱性のある金属のひとつで、3422℃という全元素の中で最も高い融点を誇ります。卓越した硬度、高密度（19.3g/cm³）、熱的・機械的疲労に対する顕著な耐性を示す。タングステンは、切削工具、高温炉、スパッタリングターゲットなど、極めて高い耐久性が要求される用途に広く使用されています。また、その優れた構造安定性により、放射線遮蔽や耐摩耗性コーティングにも貢献しています。