ST6586 タンタル・タングステン・ターゲット（TaWターゲット）

タンタル・タングステンターゲット（TaWターゲット）の説明

タンタル・タングステンターゲット（TaWターゲット）は、タンタルの優れた耐食性とタングステンの高融点および熱伝導性を組み合わせた複合スパッタリング材料です。この合金は、過酷な条件下で優れた機械的強度と安定性を発揮し、高温スパッタリング用途に最適です。タンタルは、特に酸性環境および高温環境における化学的攻撃に対して優れた耐性を提供し、タングステンはターゲットの熱および機械的ストレスに対する耐性を向上させる。これら2つの金属の組み合わせにより、優れた耐久性を持つターゲットとなり、要求の厳しい様々な薄膜蒸着プロセスに適しています。この材料は、スパッタリング中に優れた均一性と一貫性を維持し、パーティクルコンタミネーションの少ない高品質の成膜を保証します。TaWターゲットは、高性能と長寿命が重要な航空宇宙、エレクトロニクス、エネルギーなどの産業で一般的に使用されています。

タンタル・タングステンターゲット（TaWターゲット）仕様

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

タンタル・タングステンターゲット（TaWターゲット）の用途

• 半導体製造：半導体デバイスの薄膜形成、特に高い耐食性と高温安定性が要求される耐久性のあるバリア層や導電性コーティングの形成に使用されます。
• 航空宇宙と防衛TaWターゲットは、タービンブレードやエンジン部品など、高温耐性と機械的強度の両方が不可欠な航空宇宙部品のコーティング製造に採用されている。
• エネルギー産業：この合金は、過酷な環境にも耐え、腐食にも強いため、エネルギー分野で原子炉の高性能部品のコーティング材などの用途に使用されている。
• 光学コーティングタンタル・タングステン・ターゲットは、特に耐久性のある高性能材料を必要とする用途の光学コーティング用薄膜の蒸着に使用される。
• 先端エレクトロニクス：タンタルタングステンは、マイクロエレクトロニクスや先端電子デバイスの薄膜製造に使用され、優れた耐久性と耐摩耗性、耐高温性を備えた導電層を提供します。

タンタル・タングステン・ターゲット（TaWターゲット）の包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

タンタル・タングステンターゲット（TaWターゲット）に関するFAQ

Q1: TaWターゲットを使用する主な利点は何ですか？

A1: TaWターゲットは、卓越した高温安定性、優れた耐食性、強力な機械的特性を備えており、航空宇宙、半導体製造、エネルギー用途などの厳しい環境での使用に最適です。

Q2: TaWターゲットのサイズや形状をカスタマイズできますか？

A2: はい、スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、特定のアプリケーション要件を満たすために、様々なサイズや形状のカスタマイズされたTaWターゲットを提供しています。カスタムオプションについてはお問い合わせください。

Q3：どのようなスパッタリング法がTaWターゲットと互換性がありますか？

A3: TaWターゲットは、DCおよびRFスパッタリング法の両方に対応しており、高出力スパッタリングシステムに適しているため、薄膜アプリケーションの一貫した高品質の成膜を保証します。

競合製品との性能比較表

TaWターゲット vs Taターゲット vs Nbターゲット

関連情報

1. 原材料- タンタル (Ta)

タンタルは原子番号73、3017℃という非常に高い融点を持つ、緻密で耐食性の耐火性金属です。化学的に不活性で、特に酸に対して不活性で、保護酸化物層を形成し、その卓越した耐食性に寄与しています。タンタルは非常に延性があり、生体適合性があり、高温でも強度を維持するため、電子機器、航空宇宙、医療用途で重宝されている。また、優れた静電容量特性により、コンデンサー製造の主要材料となっている。

2. 原材料- タングステン（W）

原子番号74のタングステンは、最も重く、最も耐熱性のある金属のひとつで、3422℃という全元素の中で最も高い融点を誇ります。卓越した硬度、高密度（19.3g/cm³）、熱的・機械的疲労に対する顕著な耐性を示す。タングステンは、切削工具、高温炉、スパッタリングターゲットなど、極めて高い耐久性が要求される用途に広く使用されています。また、その優れた構造安定性により、放射線遮蔽や耐摩耗性コーティングにも貢献しています。