ST6587 タンタル・ニオブターゲット（TaNbターゲット）

タンタル・ニオブターゲット（TaNbターゲット）の説明

タンタル・ニオブターゲット（TaNbターゲット）は、タンタルの優れた耐食性と高融点に、ニオブの優れた機械的特性と超伝導機能を融合させた高性能合金スパッタリング材料です。この合金は卓越した熱安定性を持ち、高温でもその構造と性能を維持します。タンタルは材料の耐酸化性と耐化学腐食性に寄与し、ニオブは合金の強度を高め、超伝導特性を付加することで、エレクトロニクスや航空宇宙産業における特殊な用途に適しています。このターゲット材料は、優れた機械的強度とともに良好な熱伝導性と電気伝導性を示し、要求の厳しい環境においても信頼性の高い安定した成膜を実現します。また、強力な耐摩耗性を示し、高性能薄膜コーティングに最適です。微細構造は均質かつ微細で、スパッタリング時の均一性とスムーズな成膜プロセスを保証します。

タンタルニオブターゲット（TaNbターゲット）仕様

特性

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

タンタルニオブターゲット（TaNbターゲット）用途

• 半導体製造TaNbターゲットは、高温安定性と機械的強度の両方がデバイス製造、特に高性能コンデンサや抵抗器にとって重要である半導体産業で薄膜を成膜するために使用されます。
• 航空宇宙用コーティングTaNbは融点が高く耐食性に優れているため、航空宇宙分野でタービンブレードやエンジン部品など、極端な温度や過酷な環境に耐えなければならない部品のコーティングに利用されている。
• 超電導用途：ニオブの超伝導特性により、TaNbターゲットは、MRI装置、量子コンピューター素子、超伝導マグネットなどに使用される超伝導膜の成膜に理想的です。
• ハイエンド・エレクトロニクス用薄膜蒸着：センサー、微小電気機械システム（MEMS）、および優れた導電性と耐久性を必要とするその他の高性能コンポーネントを含む先端電子機器に、高品質で耐久性のあるコーティングを成膜するために使用される。
• エネルギー産業：TaNbターゲットは、エネルギー用途、特に高温や腐食に対する耐性が不可欠な原子炉やエネルギー貯蔵装置の部品製造に使用される。
• 医療機器：その生体適合性から、TaNbは医療用インプラントやデバイスのコーティングにも使用され、体内環境での耐久性と耐腐食性を高めている。

タンタルニオブターゲット（TaNbターゲット）の包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木枠に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

タンタル・ニオブ・ターゲット（TaNbターゲット）に関するFAQ

Q1: TaNbターゲットを使用する主な利点は何ですか？

A1: TaNbターゲットは、卓越した熱安定性、高い機械的強度、超伝導特性を備えており、高性能半導体、航空宇宙、エネルギー用途の薄膜蒸着に最適です。

Q2: TaNbターゲットのサイズや形状をカスタマイズできますか？

A2: はい、スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、特定のアプリケーション要件を満たすために、様々なサイズや形状のカスタマイズされたTaNbターゲットを提供しています。カスタムオプションについてはお問い合わせください。

Q3: どのようなスパッタリング法がTaNbターゲットと互換性がありますか？

A3: TaNbターゲットは、DCおよびRFスパッタリング法の両方に適合し、高出力スパッタリングシステムに適しているため、薄膜用途で安定した高品質の成膜が可能です。

競合製品との性能比較表

TaNbターゲット vs Taターゲット vs Nbターゲット

関連情報

1. 原材料- タンタル (Ta)

タンタルは緻密で耐食性のある金属で、融点は約3,020℃と高い。ほとんどの酸に対して高い耐食性を持つため、化学処理、航空宇宙、電子機器などの過酷な環境での用途に適しています。タンタルは熱と電気をよく通し、安定した酸化層を形成して腐食から保護します。この金属は、コンデンサーや高性能合金の製造、生体適合性と体液への耐性を持つことから医療用インプラントのコーティングに広く使用されている。

2. 原材料-ニオブ（Nb）

コロンビウムとしても知られるニオブは、柔らかく灰色の延性金属で、融点は約2,468℃と高い。強度、溶接性、耐食性を向上させるため、特に鋼との合金化に主に使用される。ニオブの優れた超伝導特性は、超伝導磁石や粒子加速器への応用に理想的である。また、航空宇宙産業、特に高性能ジェットエンジンやロケット部品にも使用されている。ニオブの耐食性と高融点は、原子炉やエネルギー用途などの過酷な環境でも有用です。