チタン酸ストロンチウム単結晶基板の説明
チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)単結晶は、その格子定数がペロブスカイト型結晶構造を持つほとんどの材料と一致するため、多くの酸化物薄膜のエピタキシャル成長用基板として広く用いられています。チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)とY-Ba-Cu-O系(a = 3.89A)は格子定数が類似しているため、超伝導体薄膜の基板材料として一般的に使用されている。
チタン酸ストロンチウム単結晶基板の仕様
成長方法
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バーヌー(火炎)法
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結晶構造
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立方晶
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格子定数
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a = 3.905 A
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密度 (g/cm3)
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5.11
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融点 (°C)
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2080
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硬度
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6-6.5モース
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誘電率
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室温で300
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純度
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>99.9
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化学的安定性
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水に不溶
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熱膨張係数(/K)
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10.4 x 10-6
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10 GHzでの損失正接
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~300Kで~5x10-4、77Kで~3x10-4
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パッケージ
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クラス1000のクリーンルームでクラス100グレードのプラスチック袋に梱包
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チタン酸ストロンチウム単結晶基板用途
高温超電導膜の研究に広く使用されています。また、特殊な光学窓や高品質のスパッタリングターゲットにも広く使用されています。
チタン酸ストロンチウム単結晶基板の 包装
当社のチタン酸ストロンチウム単結晶基板は、製品の品質を原状に保つために、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。
よくあるご質問
Q1なぜSrTiO3は単結晶基板として人気があるのですか?
SrTiO3は、多くの酸化物材料との優れた格子整合性、高い誘電率、複雑なエピタキシャル成長をサポートする能力により、よく選ばれています。さらに、高温下でも安定性が高く、バンドギャップも広いため、さまざまな先端エレクトロニクス用途に不可欠です。
Q2チタン酸ストロンチウム単結晶基板の主な特性は何ですか?
主な特性は以下の通りです:
- 格子構造格子構造:ペロブスカイト構造を持つ立方晶系
- 誘電率:高い比誘電率(室温で約300)
- 熱安定性:高温での優れた性能
- 電気的特性高品質な絶縁性、半導体デバイスに最適
- 光学特性赤外領域で透明
Q3チタン酸ストロンチウム基板は、どのようにエピタキシャル成長を支えるのですか?
SrTiO3基板は、多くの材料の結晶格子と密接に一致する格子構造を持つため、エピタキシャル成長に最適です。この整列は、薄膜のひずみや欠陥を減らし、堆積層の全体的な品質と性能を向上させるのに役立ちます。