TaCコート黒鉛の説明
TaCコート黒鉛 高純度等方性黒鉛材料に、CVDにより緻密な炭化タンタル層をコーティングまたは処理したものを指す。炭化タンタルは、タンタルと炭素からなる硬い耐火性セラミック化合物である。黒鉛にTaCをコーティングすることで、様々な高温・研磨環境下での黒鉛の特性・性能を向上させることができる。
TaC被覆黒鉛の仕様
製法
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CVD法
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嵩密度 (Mg/m3)
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14.5
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融点
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3985
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硬度
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1550HK
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電気抵抗率(μΩ-m)
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0.15
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熱伝導率 (W/m-K)
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9~22
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使用温度 (℃)
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2200
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TaC被覆黒鉛の用途
1.炉の断熱TaC被覆黒鉛は、炉の断熱材やホットゾーンに使用することができ、優れた熱安定性と耐高温性を発揮します。
2.ウェハーハンドリング:半導体製造において、TaC被覆黒鉛は、高温、化学気相成長、エピタキシャル成長を含むプロセス用のウェーハハンドリングツール、サセプター、るつぼなどの部品に使用することができる。
3.航空宇宙および防衛:Cコート黒鉛は、ロケットノズルやヒートシールドの製造に使用されている。
4.冶金: TaC被覆黒鉛るつぼは、鋼や超合金のような金属の溶解および鋳造に使用される。
5.化学プロセス装置:TaC被覆黒鉛は、高温および腐食性化学薬品にさらされる化学処理装置の部品に使用できる。
6.耐摩耗用途:
- メカニカルシール:TaCコート黒鉛は、回転機器の漏れを防ぐために潤滑性と耐摩耗性の両方が要求されるメカニカルシールに使用される。
- ベアリング:高速回転機械のような耐摩耗性が要求される用途では、TaCコート黒鉛を軸受に使用することで、摩擦や摩耗を低減することができます。
7.核燃料製造:TaC被覆黒鉛は、高温と放射線に対応できる核燃料製造工程で使用できる。
TaCコート黒鉛の 包装
当社のTaCコーティング黒鉛は 、製品の品質を元の状態で維持するために、保管中および輸送中に注意深く取り扱われます。