窒化タンタル蒸着材料の説明
窒化タンタル(TaN)蒸着材料は、薄膜蒸着用途において非常に貴重な特性を発揮します。卓越した硬度、化学的不活性、熱安定性で有名なTaNコーティングは、摩耗、腐食、高温に対して強固な保護を提供します。さらに、高い導電性と半導体プロセスとの適合性により、マイクロエレクトロニクスデバイスや集積回路での使用に理想的です。さらに、TaN薄膜は有望な光学特性を示し、光学コーティング、光起電力デバイス、光電子部品への応用の可能性を提供する。全体として、窒化タンタル(TaN)蒸着材料は、様々な産業における技術の進歩において重要な役割を果たしており、幅広い用途において性能、信頼性、耐久性を向上させるソリューションを提供しています。
窒化タンタル蒸発材料の仕様
モル質量(g/mol.) |
194.955 |
密度 (kg m-3) |
13700 |
融点 (°C) |
3090 |
導電率 (o (Mho/meter) x 10) |
0.000074 |
におい |
無臭 |
水への溶解度 |
不溶性 |
外観 |
濃い灰色/黒色の結晶性固体 |
結晶構造 |
六方晶 |
窒化タンタル蒸着材料用途
半導体製造:TaNは、金属原子の移動を防止し、信頼性の高いデバイス性能を確保するために、半導体デバイスのバリア層および拡散バリアとして使用される。
2.薄膜抵抗器:TaN薄膜は薄膜抵抗器の抵抗体として利用され、様々な電子用途に安定した正確な抵抗値を提供します。
3.光学コーティング:レンズ、ミラー、フィルターなどの光学部品に反射防止膜や保護膜として適用され、光学システムの性能と耐久性を向上させる。
4.耐摩耗性コーティング:TaNコーティングは、切削工具、機械部品、航空宇宙部品などの用途において、表面の硬度と耐摩耗性を向上させ、過酷な環境下での耐用年数を延ばすために使用される。
5.バイオメディカル機器:TaNは、その生体適合性と耐食性が医療用途に適しているため、インプラントや手術器具などの生体医療機器に採用されている。
6.MEMSおよびセンサー:TaN薄膜は、その導電性、機械的安定性、微細加工プロセスとの適合性から、微小電気機械システム(MEMS)やセンサーに利用され、小型化された電子デバイスやセンサーの開発を可能にしている。
7.光電池: TaNは、太陽電池のような光電池デバイスの電極材料として研究されており、その高い電気伝導性と安定性は、効率的なエネルギー変換とデバイス性能に貢献している。
窒化タンタル蒸着材料パッケージング
当社の窒化タンタル蒸発材料は、保管・輸送中の破損を防ぎ、製品の品質をそのまま維持するために慎重に取り扱われています。