CY2430 イットリア安定化ジルコニア（YSZ）結晶基板

カタログ番号	CY2430
寸法	φ2"×0.5mm、25×25×0.5mm、15×15×0.5mm、10×10×0.5mm
素材	YSZ
オリエンテーション	(100)、(110)、(111)、±0.5度
成長法	頭蓋骨溶解、コールドクルーシブル法

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YSZ単結晶基板
結晶構造	立方晶（a=5.125Å）
密度	5.8g/cm3
純度	99.99%
熱膨張率	10.3ppm/℃の
誘電率	27
配向性	<100>、<110>、<111>±0.5o、または特殊配向
サイズ	φ2×0.5mm、25×25×0.5mm、15×15×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
研磨品	片面または両面研磨
表面粗さ	≤5Å
パッケージ	100クリーンバッグ、シングルまたはマルチチップウェハーボックス

YSZ単結晶基板
結晶構造	立方晶（a=5.125Å）
密度	5.8g/cm3
純度	99.99%
熱膨張率	10.3ppm/℃の
誘電率	27
配向性	<100>、<110>、<111>±0.5o、または特殊配向
サイズ	φ2×0.5mm、25×25×0.5mm、15×15×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
研磨品	片面または両面研磨
表面粗さ	≤5Å
パッケージ	100クリーンバッグ、シングルまたはマルチチップウェハーボックス

CY2430 イットリア安定化ジルコニア（YSZ）結晶基板

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