1200C 3ゾーン炉、スライディングフランジ、ガスミキサーおよび真空ポンプ OTF-1200X-5-III-SF 説明
スライド式フランジ、ガス混合器および真空ポンプを装備した1200℃ 3ゾーン炉 OTF-1200X-5-III-SFは分割可能な5インチ（O.D.）3ゾーン管状炉で、最高1200℃までの急速加熱が可能です。3つのゾーンの温度を調整することにより、熱勾配を形成することができます。この炉にはすぐに使用できるように必要な付属品がすべて装備されており、さまざまな雰囲気での試料のアニール、拡散、焼結に最適です。さらに、耐腐食性のピラニキャパシタンスダイアフラムゲージを装備しているため、腐食性のガスでも正確な真空測定が可能です。
1200℃ 3ゾーン炉、スライドフランジ、ガスミキサー、真空ポンプ付き OTF-1200X-5-III-SF 仕様
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炉の構造
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- 二重構造のスチールケーシングに2台の冷却ファンを装備し、表面温度を低く抑えています。
- エネルギー効率に優れた高純度繊維状アルミナ断熱材により、優れた熱管理を実現します。
- 一方のフランジは試料の出し入れが容易なスライドレールに取り付けられ、もう一方のシールフランジには正確な測定のためのデジタル真空計が装備されています。
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パワー
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7KW、208-240VAC、単相、50/60Hz
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使用温度
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- 最高使用温度1200℃（1時間）、1100℃（連続）
- 加熱速度：≤20℃/分
- 温度精度：±1.0
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加熱ゾーンの長さ
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ゾーン1：229mm（9インチ）
ゾーン2457mm (18.0インチ)
ゾーン3229mm（9インチ）
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定温ゾーン
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- 3つのゾーンが同じ温度に設定されている場合、定温ゾーンは長さ25インチ（625mm）で、温度差は±1℃です。
- 1つのゾーン（センターゾーン）のみを使用する場合、定温ゾーンの長さは110mm（4.3インチ）で、温度差は±1℃です。
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発熱体
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Mo添加Fe-Cr-Al合金
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温度温度コントローラー
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- 3つのゾーンを個別に制御する3つの精密温度コントローラー
- 加熱速度、冷却速度、滞留時間を正確に制御する30個のプログラム可能なセグメントによるPID自動制御
- 過熱および熱電対破損保護機能内蔵
- 過熱保護とアラームにより、係員なしでも操作可能
- 温度精度±1
- RS485通信ポート
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真空センサーとディスプレイ
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- 腐食性ガスが存在する真空測定用に特別に設計されたセラミックコーティングセンサヘッド付き耐腐食性キャパシタンスダイアフラムゲージ
- 真空計は管状炉の真空フランジに取り付けられ、広い測定範囲 (10^-5 ~ 1000 torr) を提供します。
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チューブサイズとフランジ
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- 130 mm O.D. x 120 mm ID. x 1400 mm 石英管付属
- バルブと圧力計を備えた真空フランジを付属
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スライドレール
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長さ800mmのスライディングレールを片方のフランジに取り付け、サンプルの出し入れを容易にしました。
- 2 "石英ボートはスライドレールホルダーに設置され、拡散、酸化、アニールに使用可能。
- 5 "石英管はホルダーなしで4 "石英ボートを収容可能
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重量
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~約70kg
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寸法
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1080 X 430 X 600mm
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保証
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1年間のメーカー保証
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注意事項
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- 正確な管状炉内温度を得るためには、ご自身で温度校正を行う必要があります。詳しくはお問い合わせください。
- 警告石英管付き管状炉は真空および低圧 < 0.2 bar / 3 psi での使用を想定しています。
- ご注意ください：安全運転のため、ガスボンベに二段式圧力レギュレーターを設置し、圧力を3 PSI未満に制限する必要があります。
- 全石英管状炉の真空限界の定義：* 真空圧力は1000°Cまでしか安全に使用できません。
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認証
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1200℃ 3ゾーン炉、スライドフランジ、ガスミキサーおよび真空ポンプ付き OTF-1200X-5-III-SF 用途
- アニール材料の内部応力を緩和し、延性を向上させ、結晶粒組織を微細化するのに適しています。
- 拡散半導体製造など、固体内の原子や分子の移動が必要なプロセスに適しています。
- 焼結：セラミックスや粉末冶金でよく使用される。
- さまざまな雰囲気：不活性雰囲気、還元性雰囲気、酸化性雰囲気など、さまざまなガス環境で動作するように設計されているため、さまざまな材料やプロセスに適しています。
- アグレッシブなガスの真空測定：耐腐食性のピラニキャパシタンスダイアフラムゲージを装備し、アグレッシブガスの存在下でも正確な真空測定が可能。
1200C 3ゾーン炉、スライディングフランジ、ガスミキサーおよび真空ポンプ付き OTF-1200X-5-III-SF パッキング
スライディングフランジ、ガスミキサー、真空ポンプOTF-1200X-5-III-SF付き1200℃3ゾーン炉は 、製品の品質を元の状態で維持するため、保管中および輸送中は慎重に取り扱われます。
