熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートの説明
熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートは 、その卓越した熱的・化学的特性で知られる高度に特殊化された容器です。PBNは化学気相成長法により合成され、優れた熱伝導性と高温安定性を持つ材料となります。PBNは化学的に不活性で、ほとんどの酸やアルカリに耐性があり、溶融金属と反応しないため、高純度環境での使用に最適です。さらに、卓越した電気絶縁特性と低アウトガスを示し、繊細なプロセスにおける汚染を最小限に抑えます。これらの特性により、PBNボートは結晶成長、半導体製造、高温材料加工用途での使用に特に適しています。
熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートの仕様
通常サイズ
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長さ
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高さ
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厚さ
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2"-20"
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0.5"-2"
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0.035"-0.08"
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特定のサイズについては、お問い合わせください。
熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートの物理的パラメータ
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材質
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PBN
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嵩密度
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2.0-2.19g/cm3
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肉厚
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<2mm
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最高使用温度使用温度
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2400℃
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体積抵抗率 (Ω-cm)
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3.11*1011
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熱伝導率 (W/M-k)
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43-60
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引張強さ (N/mm2)
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153.86（平行）
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曲げ強さ（N/mm2）
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243.63（平行）
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絶縁耐力（RT）（KV/mm）
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56
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熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートの用途
1.半導体産業：特に高温・高純度環境下での半導体ウェハーの製造・加工に使用。
2.結晶成長：非反応性で熱安定性が高いため、ガリウムヒ素（GaAs）やその他の化合物半導体などの高純度結晶の成長に最適。
3.材料加工：金属や化合物の蒸着に使用され、コンタミネーションを最小限に抑え、処理材料の純度を高く保つ。
4.高温炉：高温炉や反応器の容器や支持体として使用され、熱安定性と耐薬品性に優れている。
5.化学処理：腐食性の化学薬品や溶融金属の取り扱いに適しており、過酷な化学環境において耐久性と寿命を提供する。
6.研究開発：新素材や新プロセスの開発など、高純度・高温条件が不可欠な様々な研究開発用途に使用される。
7.航空宇宙：熱的・化学的安定性を活かし、航空宇宙用途の高温部品やコーティングの製造に使用される。
熱分解窒化ホウ素(PBN)ボートの パッケージング
当社の熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートは、製品の品質を元の状態で維持するため、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。
熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートのよくある質問
Q1: 熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートとは何ですか？
熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートは、熱分解窒化ホウ素から作られた高性能セラミック容器で、高温用途でよく使用されます。これらのボートは主に、化学蒸着（CVD）、焼結、その他の高温反応などのプロセス中に材料を保持するために使用されます。
Q2: 熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートを使用する利点は何ですか？
優れた熱的・化学的安定性：石英やグラファイトのような従来の材料とは異なり、熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートは高温に耐えることができ、特に反応性雰囲気では化学的に安定しています。
非汚染性：熱分解窒化ホウ素（PBN）ボートは非反応性で、処理される材料を汚染しません。これは、純度が重要な半導体および先端材料産業では不可欠です。
低熱膨張：熱分解窒化ホウ素(PBN)ボートは熱膨張率が低いため、温度変動時の寸法安定性が確保され、反りやクラックのリスクを低減します。
Q3: PBNボートのサイズと形状の選択肢は？
PBNボートには様々なサイズと形状があり、多くのサプライヤーが特定の用途に合わせたカスタムソリューションを提供しています。一般的な形状は以下の通りです：
平底ボート：焼結やウェハー処理などのプロセスに最適。
容器およびるつぼ：化学反応や材料合成に使用。
カスタム設計形状：特定のプロセスやマテリアルハンドリングの要件を満たすように調整されます。
ボートの大きさは使用目的によって異なり、メーカーは実験室規模の小型ボートから大規模な工業用ボートまでのオプションを提供することが多い。
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