LB6736 Su-8モールド＆チップ；PDMSチップ

Su-8モールドとPDMSチップの説明

SU- 8は機械的、誘電的、化学的耐性に優れ、熱安定性、生体適合性にも優れた高性能ネガ型フォトレジストです。マイクロ流体産業で広く使用されているSU-8は、フォトリソグラフィーによるPDMSベースのマイクロ流体チップの金型作製に不可欠です。

マイクロ流体製造におけるSU-8鋳型の利点：

1.高い解像度と精度：SU-8は高分解能で知られており、複雑で精密なマイクロ流路設計が可能です。そのため、ミクロン単位の微細な複雑なマイクロ流体構造の作製に最適です。

2.耐久性と強靭性SU-8金型は非常に耐久性に優れ、使用、洗浄、取り扱いを何度も繰り返しても完全性を維持します。そのため、繰り返しのPDMS鋳造に適しており、鋳型の安定性が長期間持続します。

3.多様な形状とアスペクト比：SU-8は、2マイクロメートルの細い線幅と1:1から2:1のアスペクト比の微細構造の製造を可能にします。高度な多層フォトリソグラフィー技術により、さまざまな高さのマイクロチャネル構造を作成することができ、複雑なマイクロ流体システムの設計に柔軟性を提供します。

Su-8モールドとPDMSチップの用途

- マイクロ流体デバイスラボオンチップデバイスの精密な流体制御用マイクロ流体チップの作成に使用されます。

- バイオメディカル研究細胞培養、DNA分析、診断テスト用のマイクロチャンネルの作成に最適です。

- ポイントオブケア診断：迅速な医療検査のためのポータブルで低コストの診断装置の開発を促進する。

- 化学センシング：小規模な流体操作が不可欠な化学物質の検出や分析に使用される。

- 臓器チップ・システム：薬物検査や疾患モデリングのための生体組織を模倣したシステムの開発に使用される。

Su-8モールドとPDMSチップのパッケージング

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されます。小さい製品はPP箱でしっかり梱包され、大きい製品は特注の木枠で梱包されます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

参考のため、梱包の詳細をご確認ください。

製造工程

1.準備工程

(1)基板の準備：シリコンウエハを洗浄し、表面に埃がないことを確認する。

(2)スピンコート

ウエハーをスピンコーターの上に置き、固定する。

SU-8フォトレジストを分注し、スピンのスピードと時間を設定します。

(3)ソフトベーク：塗布したウェハをホットプレート上でベークし、溶剤を除去します。

(4)露光

ウェーハをマスクアライナー上に置きます。

必要な露光時間、露光強度のマスクを用いて露光します。

(5)ポストベーク露光後ベークを行い、架橋を完了させます。

(6)現像：現像液に浸して未露光のフォトレジストを溶解し、パターンを形成する。

(7)クリーニング：イソプロパノールですすぎ、余分なフォトレジストを除去する。

(8)検査顕微鏡でウエハーを観察し、パターンの鮮明さと精度を確認する。

2.試験方法

(1)化学組成分析 - GDMSまたはXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件に適合していることを確認する。

(2)機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。

(3)寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認する。

(4)表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥の有無を確認する。

(5)硬度試験 - 均一性と機械的信頼性を確認するため、材料の硬度を測定する。

詳細はSAM 試験方法をご参照ください 。

Su-8モールドとPDMSチップに関するFAQ

Q1.SU-8モールドとPDMSチップとは何ですか？

SU-8モールドは、フォトリソグラフィーで使用される高解像度のネガ型フォトレジストモールドで、マイクロ流体などのアプリケーション用の微細構造を作成するために使用されます。

PDMSチップはポリジメチルシロキサン(PDMS)から作られるマイクロ流体チップで、柔らかくフレキシブルな材料であり、流体操作用のマイクロチャンネルベースのデバイスを作るために広く使用されています。

Q2.SU-8モールドとPDMSチップを使う利点は何ですか？

SU-8モールドは、高解像度、高耐久性、マイクロチャンネル形状の精密な制御が可能で、寸法精度の高い複雑なデザインの製作が可能です。

PDMSチップは生体適合性に優れ、透明性が高く、作製が容易であるため、バイオメディカル研究、診断、マイクロ流体デバイスへの応用に最適です。

Q3.SU-8モールドやPDMSチップの主な用途は何ですか？

主にマイクロ流体デバイス、ラボオンチップシステム、バイオメディカル研究、ポイントオブケア診断、ケミカルセンシング、薬物検査に使用されます。