シリコンアルミロータリーターゲット 説明
シリコンアルミロータリーターゲットは、薄膜成膜用のスパッタリングプロセスで一般的に使用される複合材料です。シリコンとアルミニウムのブレンドから作られたこのターゲットは、両材料の優れた特性を併せ持ち、様々なコーティング用途で高性能な結果をもたらします。精密で耐久性のある薄膜が要求されるエレクトロニクス、太陽エネルギー、半導体製造などの産業でよく使用されています。
シリコンアルミロータリーターゲットの主な特徴
高性能:ターゲットの劣化を最小限に抑えた効率的なスパッタリング性能を提供し、長期間安定した結果を保証します。
耐久性:複合構造により、過酷なスパッタリング環境下でもターゲットの耐久性を高め、頻繁な交換の必要性を低減します。
スムーズな成膜:先端技術アプリケーションに不可欠な、均一で高品質な薄膜成膜を実現します。
コスト効率:シリコンとアルミニウムを組み合わせることで、高品質な性能を維持しながらも、純粋なシリコンターゲットと比較してより手頃な価格のソリューションを提供します。
汎用性:薄膜コーティングが重要なエレクトロニクス、ソーラーパネル製造、光学コーティングなどの様々な用途に最適です。
シリコンアルミロータリーターゲット用途
- 電子機器製造トランジスタ、コンデンサー、抵抗器などのデバイスの導電性薄膜や絶縁性薄膜の製造に使用される。
- 太陽電池薄膜太陽電池の製造に不可欠で、エネルギー効率を向上させる。
- 半導体産業:マイクロエレクトロニクス部品や半導体ウェハーの製造に応用されている。
- 光学コーティング:レンズ、ミラー、その他の光学部品用の薄い層を作るのに使われる。
シリコン・アルミニウム・ロータリー・ターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、紙樽、鉄樽、またはカスタマイズ。
参考のため、包装の詳細をご覧ください。
シリコン-アルミロータリーターゲットFAQ
Q1.シリコンアルミロータリーターゲットとは何ですか?
シリコンアルミロータリーターゲットは、細いガラス繊維から作られた織物です。高強度、耐熱性、軽量で知られ、複合材料の補強、断熱材、保護用途に理想的な素材です。
Q2.シリコンアルミロータリーターゲットの主な特性は何ですか?
高強度です:引張強度と耐久性に優れています。
耐熱性:550°F(288℃)以上の高温に耐えることができます。
耐薬品性:多くの酸、アルカリ、溶剤に耐性がある。
軽量性: 金属や他の補強材に比べて比較的軽量です。
電気絶縁性非導電性であるため、電気絶縁に適している。
耐久性摩耗、カビ、腐敗に強い。
Q3.耐火性はありますか?
ガラス繊維特有の耐熱性により、耐火性があります。構造的完全性を失うことなく高温に耐えることができるため、耐火衣料や工業用途に最適です。
関連情報
シリコンスパッタリングターゲットの問題点:
1.スパッタリング時間が短い:
ターゲット材料は、アーク形成やガラス汚染などの問題を回避するため、定期的なPM(予防メンテナンス)と研磨が必要であり、通常は5000kW時間の運転後である。
2.歩留まりの悪さ:
ガラス汚染(輝点)に対する現在の歩留まり率は、業界標準によると約70~80%である。
3.ターゲット割れ:
ターゲット材の割れを防ぐには、使用中のパワーカーブを注意深くモニターする必要がある。
4.アーク形成:
ターゲット材の抵抗が高いと、スパッタリングに高電圧が必要となり、プロセス中にアーク形成や関連する問題が発生する可能性がある。
5.不均一な膜厚:
ターゲット全体の電気抵抗が不均一に分布するため、スパッタリング速度が一定せず、ガラス上の膜厚が不均一になる。
6.不十分なターゲット純度:
電気抵抗の問題に対処するため、導電性金属をターゲットに添加することが多いが、これは高純度ターゲットの製造を損なう可能性がある。