熱分解窒化ホウ素るつぼ(LEC型) 商品説明
熱分解窒化ホウ素るつぼ(LECタイプ)は、結晶成長プロセス、特に高純度単結晶の製造に使用される専用容器です。LEC(Liquid Encapsulated Czochralski)結晶成長技術用に設計されています。LECは、るつぼ内で多結晶原料を融解し、融液から単結晶をゆっくりと引き上げる結晶成長技術です。液体封入は、結晶成長プロセスを制御し、高い純度を維持するのに役立つ。
PBNは、ホウ素と窒素の化合物である窒化ホウ素の合成高純度形態である。PBNは優れた熱的・化学的安定性と高い電気抵抗率を示します。これらの特性により、PBNは高温環境や腐食環境での用途に適しています。
熱分解窒化ホウ素るつぼ(LECタイプ)の仕様
PBN 機械的特性
項目
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データ
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単位
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密度
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g/cm3
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1.95-2.20
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引張強さ
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MPa
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112
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曲げ強さ
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MPa
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173
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圧縮強さ
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MPa
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154
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ヤング率
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GPa
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18
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熱伝導率
(1500℃以下)
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W/m
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"a" 60
"c" 2
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比熱
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J/g
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0.90 (RT)
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抵抗率
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Ω.cm
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2×1015
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絶縁耐力
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D.C.ボルト/ミリメートル
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2×1015
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誘電率
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-
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"c" 3.07
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金属不純物含有量
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ppm
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<10
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PBN LECるつぼの標準仕様
内径 (ID)
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高さ
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厚さ
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3"
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3"
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0.03"
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4"
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4"
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0.035"
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5"
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5"
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0.035"
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熱分解窒化ホウ素るつぼ(LECタイプ)の用途
1.半導体産業:非反応性で高温に耐えるため、ガリウムヒ素(GaAs)やシリコンなどの高純度結晶の成長に使用される。
2.材料加工:金属や化合物の蒸着に使用され、コンタミネーションを最小限に抑え、処理材料の純度を高く保つ。
3.化学処理:腐食性の化学薬品や溶融材料の取り扱いに適しており、過酷な環境下での耐久性と長寿命を提供する。
4.高温炉:高温炉や反応炉で、材料を溶融・加工する容器として利用され、熱安定性の恩恵を受ける。
5.研究開発:新素材や新プロセスの開発など、高純度・高温条件を必要とする様々な研究開発用途に使用される。
6.航空宇宙および防衛:耐熱性、耐薬品性を生かした高温部品やコーティングの製造に使用される。
7.オプトエレクトロニクス:コンタミネーション・フリー・プロセッシングが重要なオプトエレクトロニクス・デバイスの製造に使用される。
熱分解窒化ホウ素るつぼ(LECタイプ) パッケージング
当社の熱分解窒化ホウ素るつぼ(LECタイプ)は、製品の品質を原状に保つため、保管中および輸送中に注意深く取り扱われます。
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