熱分解窒化ホウ素るつぼ(VGFタイプ) 説明
熱分解窒化ホウ素(PBN)は、純度99.999%の高密度粉末で製造される先端セラミックスの一種です。熱分解窒化ホウ素るつぼ(VGFタイプ)は、BCl3とNH3を用い、高温・低圧でCVD法により金型上で合成されます。
熱分解窒化ホウ素ルツボ(VGFタイプ)は、垂直勾配凝固法(VGF法)で使用されるルツボの一種です。GaAs、InP化合物半導体の単結晶成長において、世界的に主流となっている技術です。
熱分解窒化ホウ素るつぼ(VGFタイプ)の仕様
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材質
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PBN
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純度
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≥99.99%
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密度
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1.95-2.22 g/cm3
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引張強さ
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153.86N/mm2, 112 MPa
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曲げ強度
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243.63N/mm2、173MPa
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圧縮強度
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154 MPa
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最高使用温度使用温度
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2400℃
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比熱容量
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0.89J/g・℃以下
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電気抵抗率
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2*1015Ω・cm
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絶縁耐力(RT)
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>2*105D.C. Volts/mm
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熱伝導率(W/M・K)
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43-60
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標準寸法
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外径
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2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、10インチ、12インチ、16インチ
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高さ
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≤31.5インチ(800 mm)
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厚さ
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0.008インチ~0.118インチ(0.2mm~3.0mm)
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、弊社までお問い合わせください。
熱分解窒化ホウ素るつぼ(VGFタイプ)の用途
1.半導体産業:非反応性で高温に耐えるため、ガリウムヒ素(GaAs)やシリコンなどの高純度結晶の成長に使用される。
2.材料加工:金属や化合物の蒸着に使用され、コンタミネーションを最小限に抑え、処理材料の純度を高く保つ。
3.化学処理:腐食性の化学薬品や溶融材料の取り扱いに適しており、過酷な環境下での耐久性と長寿命を提供する。
4.高温炉:高温炉や反応炉で、材料を溶融・加工する容器として利用され、熱安定性の恩恵を受ける。
5.研究開発:新素材や新プロセスの開発など、高純度・高温条件を必要とする様々な研究開発用途に使用される。
6.航空宇宙および防衛:耐熱性、耐薬品性を生かした高温部品やコーティングの製造に使用される。
7.オプトエレクトロニクス:コンタミネーションのない処理が重要なオプトエレクトロニクスデバイスの製造に使用される。
製品比較
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るつぼタイプ
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材質
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最高温度 (°C)
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熱伝導率
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耐熱衝撃性
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耐薬品性
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用途
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石英セラミック
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石英セラミック
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1100
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低い
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高
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高
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一般実験室
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BeOセラミック
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酸化ベリリウム
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1800
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非常に高い
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高い
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高温
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高温、電子機器
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PGコートC
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PGコート黒鉛
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2000
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高温(異方性)
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非常に高い
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高い
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結晶成長、蒸発
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PGコートPBN
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PGコートPBN
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1800
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高い
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非常に高い
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非常に高い
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高純度結晶成長
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PBNるつぼ
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熱分解BN
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1800
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高純度
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非常に高い
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非常に高い
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MBE、OLED、VGF、LECプロセス
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AlNるつぼ
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窒化アルミニウム
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1800
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高い
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高い
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高
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半導体、パッケージング
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SiCるつぼ
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炭化ケイ素
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1600
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高い
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非常に高い
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高い
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金属溶解、鋳造
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H-BNるつぼ
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ホットプレスBN
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1800
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中程度
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非常に高い
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高い
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金属加工、はんだ付け
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チタン酸アルミニウム
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チタン酸アルミニウム
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1400
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低い
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優秀
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中程度
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熱サイクル、ガラス産業
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アルミナるつぼ
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酸化アルミニウム
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1700
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中程度
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中程度
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高温
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一般高温用
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Si用石英
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溶融石英
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1200
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低い
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高
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高
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シリコン単結晶成長 (Czochralski)
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熱分解窒化ホウ素るつぼ(VGFタイプ) 包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。
梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

仕様
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材料
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PBN
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純度
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≥99.99%
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密度
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1.95-2.22 g/cm3
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引張強さ
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153.86N/mm2、112MPa
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曲げ強度
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243.63N/mm2、173MPa
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圧縮強度
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154 MPa
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最高使用温度使用温度
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2400℃
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比熱容量
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0.89 J/g
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電気抵抗率
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2*1015Ω・cm
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絶縁耐力(RT)
|
>2*105D.C. Volts/mm
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熱伝導率(W/M・K)
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43-60
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標準寸法
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外径
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2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、10インチ、12インチ、16インチ
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高さ
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≤31.5インチ(800 mm)
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厚さ
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0.008インチ~0.118インチ(0.2mm~3.0mm)
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*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、弊社までお問い合わせください。