酸化タンタルの保護膜用途

最終更新日 {{lastDate}}

酸化タンタルは化学的に非常に堅牢であることが示されている。反応性スパッタリング酸化タンタル薄膜は、攻撃的な媒体にさらされるセンサーの保護膜として研究されてきた。

スパッタ蒸着アモルファス酸化タンタルのステップカバレッジは妥当であるが、メタライゼーションラインはカバーしにくい。スパッタ酸化タンタルは高い絶縁耐力を示し、0.5 pm厚膜のピンホール密度は3 cm以下である。

Tantalum oxide

このセンサーコンセプトの解決策として保護コーティングを適用するには、コーティングが満たすべき多くの特性が必要である：
I.I.耐食性：コーティングの最大許容厚みと必要最小寿命は、対象メディアにおけるエッチング速度の上限を設定する。
2.低い残留応力と小さな膜厚：膜の剛性変化による感度の低下を抑える。
3.ステップカバレッジ：インターコネクトやコンタクトウィンドウのカバレッジが悪いと、センサーの劣化が始まる。
4.ピンホール密度：通常、センサーの露出部分にはピンホールは許されない。エッチャントはコーティングを貫通し、電気的に活性なコンポーネントやアンダーエッチングを劣化させ、最終的にコーティングの望ましくないリフトオフをもたらす。ピンホールが粒子汚染によるものである場合、膜厚を厚くすることでピンホールをなくすことができる。
5.電気的特性：誘電体膜は、センサー上の電気部品を導電性媒体から絶縁するために必要である。
6.パターニング可能：多くの場合、ボンドパッドにアクセスするために保護膜をパターニングすることが望まれる。ウェットエッチングのようなバッチプロセスでのパターニングが好ましい。
7.差圧センサーの両面を保護するための両面蒸着。
8.鋭利な角の被覆：コンフォーマルコーティングが必要。
9.深い空洞の被覆：空洞の底までコンフォーマルコーティングが必要。

Tantalum oxide application

タンタル、タンタル合金、酸化タンタルの使用は、センサーの目的ですでに提案されている。その上、タンタルは非常に安定しているため、化学処理装置にも使用されている。その理由は、表面に薄いアモルファス酸化タンタル層が形成され、化学的に非常に不活性だからである。

タンタルとその酸化物および窒化物の蒸着は、物理蒸着、化学蒸着、熱酸化によって行うことができる。このため、これらの材料の使用は非常に柔軟である。

<< 前例

歯科用ジルコニア構造体

次のページ >>

口腔インプラントにおけるニオブの生体適合性

Chin Trento

イリノイ大学で応用化学の学士号を取得。彼の学歴は、多くのトピックにアプローチするための幅広い基盤となっている。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）で4年以上にわたり先端材料の執筆に携わる。彼がこれらの記事を書く主な目的は、読者に無料で、しかも質の高いリソースを提供することである。誤字、脱字、見解の相違など、読者からのフィードバックを歓迎する。

格付け

{{viewsNumber}} について考えてみた "{{blogTitle}}"

blog.levelAReply (Cancle reply)

メールアドレスは公開されません。は必須項目です。*

ご要望*

名称 *

電子メール *

blog.MoreReplies

返信を残す

メールアドレスは公開されません。は必須項目です。*

ご要望*

名称 *

電子メール *

検索

関連ニュース＆記事

炭素繊維の軽量化が自動車産業の未来を変える

炭素繊維が可能にする自動車の軽量化。この分析では、次世代EVのための低コスト技術、マルチマテリアル設計、スマート製造におけるブレークスルーと、主要な課題を取り上げています。

詳細はこちら >

耐腐食性ガス圧縮機部品のタンタルインゴット

ガス圧縮機の様々なコンポーネントの材料選択は、長期にわたる耐久性、信頼性、および効率にとって重要です。攻撃的な媒体による攻撃を受ける部品では、タンタルインゴットが、その卓越した耐腐食性と高温安定性を併せ持つため、最高の選択肢として浮上してきました。

詳細はこちら >

シリコンウェーハの種類

おそらく多くの人が、気づかないうちにシリコン・ウェーハを使っていたことだろう。コンピューターや携帯電話を持ったことのある人なら、誰でもシリコンウェーハを利用したことがあるだろう。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、シリコンウェーハの主要サプライヤーの1社として、「シリコンウェーハとは何か？この目的のために、どのようなシリコンウェーハを購入すればいいのでしょうか？このシリコンウェーハ完全ガイドでは、これらの質問にすべてお答えします。

詳細はこちら >